Structure design and film process optimization for metal-gate stress in 20 nm nMOS devices

The optimizations to metal gate structure and film process were extensively investigated for great metalgate stress(MGS) in 20 nm high-k/metal-gate-last(HKVMG-last) nMOS devices.The characteristics of advanced MGS technologies on device performances were studied through a process and device simulation by TCAD tools. The metal gate electrode with different stress values(0 to—6 GPa) was implemented in the device simulation along with other traditional process-induced-strain(PIS) technologies like e-SiC and nitride capping layer.The MGS demonstrated a great enhancing effect on channel carriers transporting in the device as device pitch scaling down.In addition,the novel structure for a tilted gate electrode was proposed and relationships between the tilt angle and channel stress were investigated.Also with a new method of fully stressed replacement metal gate(FSRMG) and using plane-shape-HfO to substitute U-shape-HfO,the effect of MGS was improved.For greater film stress in the metal gate,the process conditions for physical vapor deposition(PVD) TiN-x- were optimized.The maximum compressive stress of—6.5 GPa TiN_x was achieved with thinner film and greater RF power as well as about 6 sccm N ratio.     

双烷基二苯醚双磺酸钠的合成及其在乳液聚合中的应用

以α-烯烃、二苯醚和发烟硫酸为原料,杂化的固体酸为烷基化催化剂,经烷基化、磺化和中和反应合成了不同碳链的双烷基二苯醚双磺酸钠(Cn-DADS,n=8、12和16),并采用高效液相色谱(HPLC)、红外光谱(FT-IR)和电喷雾质谱(ESI-MS)来表征烷基化产物和最终产物。测定了Cn-DADS的表面张力和乳化性能,结果表明C12-DADS具有较好的表面性能及乳化能力。此外,将双子表面活性剂Cn-DADS作为乳化剂用于苯丙乳液聚合,研究其对聚合物乳液性能的影响。结果显示:以Cn-DADS作为乳化剂采用种子乳液聚合的方法得到的聚合物乳液粒径较小,且机械稳定性和储存稳定性良好。     

新型结构单绳冲抓斗设计

在现有单绳冲抓斗结构的基础上提出了一种新型结构的单绳冲抓斗,其采用圆柱式筒体结构,锥形斗头及焊接式斗壳。优化了结构,提高了挖掘效率,降低了成本。     

基于科技文档的AutoCAD 插图精准出图方法

插图中的文字高度、图线线宽和图纸比例的精准打印输出,对制图类教材或教学 课件等科技文档十分重要。为了能精确出图,在分析文字信息版面占优势的科技文档中 AutoCAD 插图制作方法的基础上,从几个绘图概念出发,研究了插图的显示特性、图形对象的 图线宽度和图中文字高度的属性特征。研究表明,只需将Word 软件所测得的插图原始尺寸看 成制作AutoCAD 图形的绘图画布和物理纸张的图幅尺寸,精准设置图形的打印出图比例、线 宽和文字高度的属性值,就能通过科技文档打印输出既精准又符合制图规范的插图。     

泡酸解卡技术在TZ4SH井的实践与认识

水平井卡钻采用泡酸解卡,在塔里木油田塔中区块被证明是最迅速有效的方式。该方法解决了一批水平井卡钻事故,解卡成功率达100%。TZ4SH井解卡作业创造了塔中泡酸解卡多个第一,第一次在非奥陶系地层进行泡酸解卡作业,第一次泡酸地层碳酸盐含量低于90%,第一次使用土酸作业但解卡失败,第一次泡酸作业中发生井壁失稳。实践表明,泡酸解卡不是将卡点的阻碍物完全溶解而是溶解部分阻碍物后使其松动,减弱其对钻具活动的影响。泡酸解卡不仅对卡点岩性及其含量有要求,还要求考虑卡点岩石的胶结强度、井壁稳定性等因素。     

某大理石矿开采项目职业病危害控制效果评价

为了识别某大理石矿开采项目存在的职业病危害因素,评价其职业病危害防护设施及其效果,为该项目职业病防护设施竣工验收提供科学依据,通过分析大理石矿开采过程中员工接触职业病危害因素的情况,以及员工职业健康检查结果,评价企业职业卫生防护设施的合理性、有效性。评价结果表明:项目凿岩操作工接触粉尘不符合接触限值的要求,凿岩操作工、破碎司机和装载司机接触噪声不符合接触限值的要求,凿岩操作工接触手传振动不符合接触限值的要求,其他工种接触职业病危害因素符合要求,所有劳动者涉及粉尘和噪声职业健康检查项目合格,防护设施需进一步改进。该项目职业病防治工作基本符合国家相关法律、法规、标准和规范要求,但项目还应按提出的建议积极整改,进一步提高公司职业病危害控制水平。     

基于逻辑努力的CMOS串行传输链延迟时间的优化分析与模拟

基于逻辑努力（Logic Effort）分析优化了CMOS串行传输链延迟时间，给出了HSPICE模拟结果。结果表明：当逻辑链中每一级逻辑门具有相同的gihi，可以减小链的延迟时间，并且链中逻辑门的个数N≈（lnF）/[ln（0.71p＋2.82）]时，通过逻辑链的总延迟可以进一步减小。     

银铜爆炸复合板界面微观组织及熔融产物

对银铜爆炸复合板进行不同形变量后再进行不同温度的退火处理,研究银铜爆炸复合板在不同退火温度下界面结合状态,同时分析焊接界面处熔融产物形态及元素组成。结果表明:银铜复合板的结合界面均出现了爆炸焊接所特有的波形形貌,界面结合性良好,未出现明显的气孔、夹杂、空洞与微裂纹,银板与铜板之间形成了良好的结合;形变率为80%后,未出现明显的界面分离现象;经350℃保温60 min后,不同形变率下银铜爆炸复合板均发生再结晶转变;与350℃相比,450℃、550℃退火处理时晶粒尺寸有所增加,当温度增加至650℃时,晶粒尺寸明显增加,同时界面处的显微硬度显著降低;银铜爆炸复合板界面处熔融产物中Ag与Cu成分随机性较大,未呈现规律性。     

焦石坝工区页岩气整体固井技术

焦石坝工区海相页岩气井现已成为中石化勘探开发的重点,该工区上部地层溶洞裂缝发育,并伴随有浅层气,下部为微裂缝渗透性漏失且气层活跃,井漏和压稳矛盾突出,油基钻井液条件下长水平段固井质量不易保证以及大型压裂对水泥石破坏严重易造成井口带压。通过优化导管下入深度,研发高强低密度水泥浆体系和韧性水泥浆体系,使用可控胶凝堵漏技术,应用防漏、压稳、提高顶替效率等固井工艺,形成了焦石坝工区整体固井技术,提高了固井质量,满足了焦石坝工区开发的需要,为同类井固井提供了一定的借鉴作用。     

藻类叶绿素荧光技术检测水中三嗪类除草剂的研究进展

介绍了环境中残留的三嗪类除草剂对水生生物及人类产生的危害,阐述了藻类叶绿素荧光技术检测三嗪类除草剂的原理、发展历程及研究现状。综述了藻类叶绿素荧光技术在快速检测痕量三嗪类除草剂、分析其生物毒性上的研究进展,针对该技术检测灵敏度提升的研究也做出相关的分析;总结了藻类叶绿素荧光技术在实际应用过程中的优越性与不足之处,并提出藻叶绿素荧光技术的未来发展方向应是优化现有的检测技术条件、筛选出更灵敏的叶绿素荧光参数或是基于藻类荧光对除草剂的响应特性开发出检出限更低、灵敏度更高的新型藻类生物传感器,并能够应用于水环境的原位、在线及连续监测,以更好地实现水中三嗪类除草剂的常态化监测与风险评估。