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采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(10×8cm2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4(100mm)铬掩模版。 相似文献
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简述了7-12MeV能区由于有几种低能中子成分的存在给截面测量与评价带来困难,及低能中子的扣除方法,并给出了此能区几个反应道的测量结果,以图的形式与国际同行数据作了比较。又以^58Ni(n,p)^58Co反应为例,说明低能中子对T(d,n)^4He中子源的影响,还给出了^58Ni(n,p)反应的评价曲线。 相似文献
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选择20CrMo钢为母材,采用手工钨极氩弧焊工艺,对20CrMo、12Cr2MoWVTiB和10Cr3SiNiMoWV三种填充焊丝组成的四种焊缝进行试验研究。测定其焊接接头的性能表明,用20CrMo焊丝、20CrMo+12Cr2MOWVTiB组合焊丝施焊,焊后调质热处理后,焊接接头的抗拉强度达到D级杆要求的指标,后者的疲劳极限达到美国Norris公司生产的D级杆的水平,可以推广应用。 相似文献
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影响放顶煤开采的条件可概括为开采煤层赋存条件,煤层顶底板条件、地表塌陷及煤层的安全条件四个主要方面。 相似文献
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在静压桩施工过程中,通过监测和施工密切配合,根据监测数据组织施工,可确保周围环境的安全。实践证明,内环线以内的上海中心市区采用静压桩施工是可行的。 相似文献
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简要介绍了鞍钢新轧钢冷轧镀锌线柱基础灌注桩方案设计与施工技术要点,以及施工过程中出现的各种复杂险情的处理。通过动测进一步证明施工质量的可靠性。 相似文献