适用于器件制程的立式扩散/氧化设备设计与验证

针对半导体器件的国产化制造及工艺制程需求,设计了一款适用于200 mm(8英寸）晶圆的立式扩散/氧化设备。介绍了设备的功能特点和几个关键部分的设计要点,并对炉体系统进行了详细论述;设备设计完成后上线进行了流片试验,根据工艺验证结果,该设备满足产品工艺要求,膜厚均匀性均优于±2%。     

柳钢能源计量通讯网络的构建

介绍了柳钢能源计量通讯网络的软硬件组成及实现的功能，并实现CF-900B型微电脑皮带秤与HD-940智能演算仪之间的通讯。     

7万t/a隔膜碱蒸发装置小结

介绍了青岛海晶化工集团有限公司7万t/a隔膜烧碱蒸发装置的工程概况、主要工艺技术特点和装置的运行情况,并详细分析了开车过程中所遇到的“跑碱”问题,并提出解决方案。     

配电自动化系统建设过程中的关键问题及系统运行健康度模型

为有效指导配电网自动化系统的建设,分析中国配电网存在的问题和配电自动化建设过程中遇到的难题,在此基础上,提出解决问题的基本原则和思路。通过分析配电自动化系统建设过程中遇到的问题,为配电网自动化系统的改造和建设提供科学的决策依据。以配电自动化系统运行指标为依据,定义配电自动化系统健康度因子,建立系统运行健康度数学模型,为配电自动化系统的建设和运维提供科学支持。     

基于云理论的配电自动化系统可靠性成本效益分析模型

在阐述基于电缆故障指示器的配电自动化系统的基本原理和特点的基础上,提出配电自动化系统可靠性成本效益分析模型。通过分析我国配电网的特点,结合配电系统可靠性的工程计算方法,对通过电缆故障指示器构成的配电自动化系统在提高系统可靠性方面的成本和效益进行定量计算。结合云理论对配电自动化系统改造进行经济评估,找到实施配电自动化系统理想投资的切入点。算例分析表明该模型具有较好的实用性和可行性。     

棒材冷床自动抬尾功能的实现

介绍了棒材冷床自动抬尾装置的设计思路、控制流程以及生产应用效果。     

飞剪剪切控制系统精度的优化

采用改进型基于PLC自适应控制方法,将飞剪前后机架的实际速度控制系统纳入到飞剪剪切控制系统中,使剪切精度提高10倍以上,提高成材率0.2%,降低吨钢成本5元以上。