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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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跳出传统的设计思路,提出装多件内装物的瓦楞纸箱尺寸优化设计方法,建立优化设计模型,编写程序用于生产,节省纸用量,降低成本。 相似文献
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对省煤器开裂管进行了化学成分及宏、微观分析。分析结果表明,在高温高压条件下,在其焊缝溶合区出现粗大的魏氏组织,管材中的珠光体组织产生了不同程度的球化,而母材组织又存在严重的带状组织。在过热条件下熔合区极易出现裂纹,并由此快速扩展,造成省煤器管开裂。 相似文献
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不同粒度松散煤体的氧扩散特性实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
以自行研制的煤对氧扩散特性测试装置为实验手段,在常温环境条件下测试了不同粒度松散煤体对氧的自由扩散特性.实验结果表明:煤样粒度的变化对取气腔氧浓度流出曲线的影响表现出2个极限值,煤样粒度在20~100目之间时,取气腔氧气浓度梯度随煤样粒度的增大而增大;当煤样粒度<20目或>100目时,煤样粒度的再变化对氧浓度流出曲线的影响则微乎其微;取气腔氧浓度曲线流形基本符合指数曲线的变化规律. 相似文献