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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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钢坯在炉内的横向跑偏和纵向跑偏位移量,是步进式加热炉设备的重要性能之一.重点介绍了鞍钢1780热连轧生产线步进式加热炉钢坯跑偏测试的应用技术. 相似文献
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陆西凹陷包日温都断裂构造带岩性油藏研究 总被引:1,自引:1,他引:0
为寻找岩性油藏,应用波阻抗反演地震储层预测技术,对包日温都断裂构造带砂体展布情况进行了预测,发现并落实了2个岩性圈闭,由此认为,研究区北部是大型水下扇砂体与半深湖相暗色泥岩交汇之处,有利于形成岩性油藏,这一结论将对今后加强储层预测工作和寻找有利砂体提供借鉴。 相似文献
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实施油气回收的必要性和技术方案的探讨 总被引:8,自引:0,他引:8
郝保良 《石油化工管理干部学院学报》2002,(2):41-42,69
简要介绍油气回收技术;从环保和增加经济效益的角度,以福建炼化公司的实际情况为例提出了油气回收的方案,并对实行该方案的必要性和经济效益做了分析;希望增强炼化企业对油气回收问题的重视,达到安全生产、改善环境和节约能源的目的。 相似文献
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以FYX - 2G型高压搅拌釜为加氢反应器 ,测定了在不同搅拌器型式和搅拌转速下高压釜的持气量和反应效果 ,认识到α 蒎烯催化加氢是外扩散控制的反应 ,当搅拌转速为 6 0 0r/min时 ,基本上能消除外扩散的影响。考察了Raney镍和Pd/C催化剂、反应温度在 35 3~ 499K ,压力在 4 0~ 10MPa的条件下对α 蒎烯加氢转化率和选择性的影响 ,结果表明Raney镍更适宜于α 蒎烯催化加氢 ,其转化率随温度、压力增加而提高 ,但选择性下降。采用温度 35 3~ 433K、压力 4 0~ 7 0MPa的操作序列 ,克服了α 蒎烯加氢转化率与选择性互为逆向的缺点 ,缩短了反应时间 ,制得了顺反比高达 18 2∶1的蒎烷 ,并且发现加氢反应从温度 433K开始有副产物对烷生成 ,当温度超过 45 6K时 ,加氢过程还出现飞温现象。 相似文献
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