Plasma immersion ion implantation for SOI synthesis: SIMOX and ion-cut

We have demonstrated feasibility to form silicon-on-insulator (SOI) substrates using plasma immersion ion implantation (PIII) for both separation by implantation of oxygen and ion-cut. This high throughput technique can substantially lower the high cost of SOI substrates due to the simpler implanter design as well as ease of maintenance. For separation by plasma implantation of oxygen wafers, secondary ion mass spectrometry analysis and cross-sectional transmission electron micrographs show continuous buried oxide formation under a single-crystal silicon overlayer with sharp Si/SiO₂ interfaces after oxygen plasma implantation and high-temperature (1300°C) annealing. Ion-cut SOI wafer fabrication technique is implemented for the first time using PIII. The hydrogen plasma can be optimized so that only one ion species is dominant in concentration and there are minimal effects by other residual ions on the ion-cut process. The physical mechanism of hydrogen induced silicon surface layer cleavage has been investigated. An ideal gas law model of the microcavity internal pressure combined with a two-dimensional finite element fracture mechanics model is used to approximate the fracture driving force which is sufficient to overcome the silicon fracture resistance.     

可燃性粉尘环境用电气设备标准介绍

章着重对可燃性粉尘环境用电气设备新标准（GB12476．1－2000和GB12476．2－2XXX）的主要内容进行了介绍，并对粉尘的爆炸机理，国内外粉尘标准体系等进行了阐述。     

重油催化裂化装置轴流风机的损坏与修复

广州分公司炼油厂重油催化裂化装置四机组轴流风机在 1998年 9月由于入口消音器故障引发重大事故 ,严重影响了装置生产。该文主要针对其损坏的原因、情况和修复方法作了探讨和论述     

掺杂聚苯胺的表面接枝共聚改性

化学氧化法制备的聚苯胺表面的亲水性差，本文在本征态和不同酸掺杂志聚苯胺的表面上接枝共聚丙烯丙烯酸和丙烯酰胺，明显地改善了聚苯胺的表面亲水性。结果显示，聚苯胺表面经过等离子体处理后，有利于丙烯酸和丙烯酰胺在聚苯胺表面上的接枝共聚，随着接枝量增多，导电率则随之有所下降，此外，利用ＳＥＭ和反射ＩＲ表征了改性反聚苯胺表面的形态和结构。     

应用人工神经网络优化五点法水平井井网

水平井直井联合布井方式越来越多地应用到油田的实际开发中，但是井网的选择与优化方面的研究比较少，特别是没有根据不同开发阶段变化的生产动态对水平井井网进行优化。应用人工神经网络技术，在进行数值模拟计算的基础上，制作样本并训练网络，可预测任意面积、任意水平井长度下的五点法水平井井网在不同开发阶段的生产动态，优化出不同生产时间和不同井网面积条件下最优井网穿透比，即生产10a时最优井网穿透比为0．55～0．8。与数值模拟结果进行对比，最大误差在1％以内，表明这种方法既快速简便又具有较高的精确性，可以有效地指导五点法水平井井网优化设计。     

SNCP环带链的组网与维护

在实际传输网络结构中,有些站点由于条件限制不能与其它站点连接成环.过去采用通道保护(PP)环带链组网,环链网元间业务在环上没有保护;随着技术的发展,提出了子网连接保护(SNCP)环带链组网方式,确保环链网元间业务在环上得到保护,使网络的稳定性和可靠性大大提高.     

石家庄市室内氡及其子体浓度

本文报道了用双滤膜法对石家庄市室内空气中氡及其子体浓度的调查结果。47个房间室内氡年平均浓度为17.0Bq·m~(-3),氡子体平均浓度是7.14Bq·m~(-3)。氡及其子体浓度的日变化是清晨4—8时出现峰值。季节变化是夏秋季低,冬季高,全年的最低值出现在8月,最高值出现在11月。     

抗红外成像制导技术浅析

红外成像制导导弹自诞生以来 ,经过数十年的发展 ,技术日臻完善 ,应用日趋广泛 ,研究和探讨对抗红外成像制导的技术和方法就显得尤为重要。介绍了红外成像制导的基本原理、发展和在战争中的重要作用 ,重点探讨了对抗红外成像制导的几种技术手段。     

B4C涂层作为等离子体面对材料的一些性质

介绍了利用等离子喷涂设备,B4C/Cu梯度功能涂层及非梯度涂层的制备技术,在模拟实验装置中测量了在高能粒子(3 keV,D+)的作用下,B4C涂层的化学溅射产额、热解吸性能、热冲击性能及热导率.结果表明B4C是一种有希望为未来聚变装置中等离子体面对的材料.     

脉冲相干激光雷达对运动目标成像模拟

针对运动目标，在考虑激光雷达方程、信噪比和自动增益、成像指标、噪声、图像处理等模块的基础上，对脉冲相干成像激光雷达进行了运动目标的成像模拟。