刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量

给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法。采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面。结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够反映边缘表面形貌特征的三维LER表征参数。结合实例,计算了所提出的部分LER参数,分析了LER标准差参数的测量精度。     

新型激光成像雷达图像匹配处理机的设计与实现

激光成像雷达是一种新型成像雷达,图像匹配处理机的使用是该雷达导航应用的先决务件之一。对激光成像雷达的图像匹配处理机进行分析,再进行设计。采用以高速DSP为主处理器,以大规模FPGA为处理器的图像匹配处理机的硬件方案。该方案计算能力强大且可扩展性强,通信接口多样可靠,算法软件实现可灵活修改。实验结果表明,该系统具有高实时性、高数据吞吐率、高可靠性、结构灵活的特点．为激光成像雷达在图像匹配导航中的应用研究提供了强大的处理平台。     

倾斜角沉积技术制备ZnS双折射雕塑薄膜

使用倾斜角沉积(GLAD)的电子束蒸发技术,制备了倾斜角度在60°~85°之间的ZnS双折射雕塑薄膜(STF)。使用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)检测了ZnS薄膜的结晶状态和断面形貌,使用Lamda-900分光光度计测量了薄膜在不同的偏振光入射时的透过率。研究发现,室温下倾斜沉积ZnS薄膜断面为倾斜柱状结构,且薄膜的结晶程度不高。在相同的监控厚度时,随倾斜角度增大,沉积到基片上的薄膜厚度逐渐变小,但仍然大于余弦曲线显示的理论厚度。根据偏振光垂直入射时薄膜的透过光谱计算了不同角度沉积的薄膜的折射率和双折射。结果显示当倾斜角度为75°时,薄膜的双折射效应最显著,此时Δn=0.044。     

科学数据库通用元数据管理工具的研究与实现

本文首先介绍了科学数据库通用元数据管理工具中的核心技术：XML与元数据表示,XML Schema与元数据建模,XSL与元数据显示,LDAP与元数据检索。然后讨论了该系统的处理流程和优点。本系统是实现科学数据库通用数据平台和跨库访问的基础。     

有源电路和无源电路术语的讨论

本文讨论了理想电路、实际电路中有源电路和无源电路术语的精确含义和受控源的概念,指出理想电路中有源电路和无源电路术语容易引起歧义;举例说明含有有源元件的理想电路既可以是有源电路,也可以是无源电路。笔者提出了对理想电路应使用理想有源电路和理想无源电路术语,对实际电路应使用实际有源电路和实际无源电路术语的观点。     

超宽带脉冲波形的收发特性分析

采用时域电场积分方程和互易原理相结合的方法,探讨了已知接收信号的情况下,脉冲发送信号的波形,并研究了视距和非视距两种传播路径对脉冲收发信号的影响.在分析中,脉冲波形和天线几何形状可以任意.分别以蝴蝶形天线和超宽带槽式天线为例,并将计算结果与已知接收脉冲信号进行了比较.它们之间良好的一致性说明了所提方法的正确性和有效性.     

1.9GHz0.18μm CMOS低噪声放大器的设计

针对1.9GHzPHS和DECT无线接入系统的应用,提出了一种可工作于1.2V电压的基于源级电感负反馈共源共栅结构而改进的CMOS低噪声放大器,并对其电路结构、噪声及线性特性等主要性能进行分析。并与传统的低噪声放大器进行对比,该电路采用两级放大结构,通过加入电容和电感负反馈可以分别实现低功耗约束下的噪声优化和高的线性度。采用TSMC0.18μm CMOS工艺模型设计与验证,实验结果表明：该低噪声放大器能很好满足要求,且具有1.4dB的噪声系数和好的线性度,输入1dB压缩点-7.8dBm,增益11dB,功耗11mW。     

一种快速解压的无损压缩算法

随着信息技术的不断发展,大量数据给存储和传输都带来了巨大的挑战。数据压缩能够有效减少数据量,方便数据的处理和传输。无损压缩是一种利用数据的冗余特点进行压缩的压缩方法,解压时可以完全还原数据而不会有任何失真。在研究LZO算法的快速解压原理基础上,设计了一种新的压缩算法。该算法通过减少压缩数据中压缩块的数量,降低了解压程序的执行开销。测试结果表明,新算法可实现比LZO算法更快的解压速度。     

物联网距离和业务特征结合的频谱接入方法

针对物联网应用中的频谱使用特性提出一种距离和业务结合的频谱接入方法。首先根据非系统用户与系统用户的距离关系构建用于标识系统用户信道可用度的列表,以此提供非系统用户间的资源分配等级。其次,根据非系统用户和系统用户对信道使用特性建立业务匹配关系式,在可用度列表和业务匹配关系式的基础上,构建干扰驱动效用函数,从跨层优化角度设计频谱接入方法。结果证明该方案既能够抑制非系统用户对系统用户干扰,又能够确保物联网应用的服务质量的资源共享。     

液晶背光组中棱镜膜结构参数影响显示效果的模拟分析与验证

采用棱镜膜是提高液晶背光组正视亮度的一种有效途径.采用光路追迹模拟运算的方法,分析了影响棱镜膜拢光效果的各种结构参数及其规律,并得出如下结论:在给定加工材料(即已知折射率n)的情况下,棱高h主要影响光线出射的均匀性,顶角a主要影响出射光的亮度,而膜厚d则仅仅影响整个背光组的厚度,并利用光学软件Light Tools对其结论进行了验证.