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针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2~4和0.01~0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结构过刻蚀的对比,以及对50,20和5μm三组不同间隙高度的器件结构过刻蚀的对比,揭示了单晶硅结构的电导率及器件结构和玻璃衬底间隙高度对footing效应的影响.实验结果显示电导率为2~4Ω·cm的硅结构比电导率为0.01~0.03Ω·cm的硅结构footing效应严重;硅结构和玻璃衬底的间隙为5μm的比间隙为20和50μm的footing效应严重, 对这一现象的理论分析认为,被刻蚀的硅的电导率越高, 硅结构与玻璃衬底的间隙越大,footing效应越不明显.本文中不同电导率和不同间隙高度的实验对比结果可以为硅微传感器材料类型的选取和器件的优化设计提供参考. 相似文献
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本文介绍了散热器散热量测试的基本原理,以及水冷式散热器热工性能检测装置,依据两个不同的国家标准要求,分别对钢制板式散热器的散热量进行测试,并且运用红外热成像设备测试其表面温度分布,通过比较和分析,研究钢制板式散热器. 相似文献
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在当今信息时代,实时数据的获取显得尤为重要.数据获取的方式有多种,其中快速、准确、便捷地获得 工作过程中的运行参数已成为智能监控发展的大趋势.首先介绍了基于工业以太网的立体车库现场监控系统设计,结 合 MCGS组态技术实时监测立体车库运行时的各项数据参数,使技术人员能够快速便捷地获取PLC及相关设备状态; 其次介绍了基于力控平台的远程监控系统设计,远程监控不仅能快速获取设备实时数据,还能够实现设备远程操控, 极大地方便了后台的运营管理.该设计方案依托工业以太网,将现场监控与远程监控相结合,实现了监控系统间的优势互补,形成了较为完善的立体车库运行监控体系. 相似文献
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为了获得导电岛微电极系统中纳米线的介电组装特性,基于平面微电极对和导电岛微电极系统,进行了两种系统中纳米线操控的对比实验。分别建立了平面微电极对和导电岛微电极系统的纳米线介电组装模型,探究了两种模型下的纳米线从初始位置到最终桥接上微间隙过程中的运动轨迹;分析了导电岛微电极系统中纳米线所受的介电泳力、交流电热流以及两者合作用的电动力学行为。导电岛微电极系统对纳米线有着较强的介电俘获作用,导电岛的加入能够让纳米线更好地俘获到微间隙;同时纳米线的介电组装会受到频率的影响,当频率达到翻转频率,在微间隙上方产生的微流体漩涡能够把远场区域纳米线输送到组装区,使得纳米线受到正介电泳力的作用而被组装至微间隙。 相似文献
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以蒙自市锦隆财富国际建设项目的深基坑工程为依托,利用有限元软件MIDAS对基坑桩锚支护结构进行了数值模拟研究,得到了各个工序下支护桩的内力和基坑底部隆起,并对基坑进行优化。研究结果表明:支护桩中部的内力值较大;基坑的隆起呈类似抛物线分布;支护桩水平位移随着开挖深度的增加而增大。本研究为基坑工程的设计、施工提供了一定理论依据。 相似文献
37.
在矿井建设中,人工冻结法施工技术被广泛应用,但冻结施工中土体冻胀所带来的危害也不能忽视。本文通过对取自淮南某矿不同深度的细砂土和黏土试样进行人工冻结的冻胀性能试验,得出了这两种试样的冻胀特性以及冻胀力和冻胀率与时间的关系。 相似文献
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质心侧偏角估计是车辆稳定性控制系统中的关键技术和难点,针对电动汽车,本文充分利用车轮上的驱动力矩和制动力矩信息,计算出了轮胎上的纵向力。并将轮胎侧向力用纵向力和侧偏角表示或进行局部线性化。这样可以将二自由度车辆模型简化为以侧向速度为状态的线性估计模型,用于电动汽车质心侧偏角的估计。仿真结果表明:基于线性估计模型的质心侧偏角估计器的估计精度较高,对路面摩擦因数的依赖程度小,并且计算简单,可以应用于车辆的稳定性控制系统中。 相似文献
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