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41.
丁海涛  杨振川  闫桂珍 《电子学报》2010,38(5):1201-1204
提出了一种在反应离子深刻蚀中既可以加强热传递又可以抑制notching效应的方法,尤其适用于含有细长梁结构的刻蚀.通过在硅结构的下表面溅射一薄层金属,以加强刻蚀过程中产生的热量的消散,降低了硅结构的温度.用有限元仿真和实验分别验证了该方法的有效性.同时,金属层也抑制了刻蚀离子所带电荷在绝缘介质层上的积累,防止了自建电场的产生,抑制了notching效应.该方法通过扫描电子显微镜的测量也得到了实验验证.加工了一个SOI梳齿驱动器,检验了本方法的有效性和适应性.  相似文献   
42.
雄浑壮丽的"非洲屋脊"埃塞俄比亚高原上,"鲜花之城"亚的斯亚贝巴娇艳地绽放在明媚的阳光中。富有特色的红土地上,一组雄伟的环形建筑群拔地而起,如神奇的光环般,为古老的国度增添了新的姿颜——这,就是中国政府援建的非盟会议中心!  相似文献   
43.
为有效利用汽车行驶工况中与类别属性间的统计特征,提高汽车行驶工况判别的准确性与快速性,首先选择车速和踏板信号的数据信息构建特征集,利用相关性分析和核主元分析对特征集中能敏感反映工况类别的特征数据信息进行二次特征提取,按累计贡献率大于90%的标准进行主要特征量的选择,实现输入变量的二次约简;利用小波核函数的非线性映射能力构建半监督核模糊C均值聚类方法进行车辆行驶工况的判别。通过长春某混合动力公交车试验结果表明,该方法更全面准确地反映了工况特性,有效降低了输入特征参数的维数,更加准确有效地提取了不同工况条件下汽车行驶状态的数据特征,通过半监督核模糊C均值聚类算法中加入少量的训练样本来引导聚类过程,聚类精度可达到98.75%。  相似文献   
44.
单组分聚脲防水涂膜及其应用   总被引:3,自引:1,他引:2  
介绍了单组分聚脲的概念、反应原理、防水涂膜的物理性能及其在建筑防水工程上的应用  相似文献   
45.
近年来随着信息技术手段的加强和网络应用的普及,传统的教学方式已不再能适应现代的课堂的发展,随着翻转课堂的引入,"微课"逐渐取代传统教学模式,让学生在线上学习,老师线下辅导。因此,制作一节优秀的"微课",是信息化教育技术的一个关键,文章以"机械基础"课程为例,选取典型课例进行微课开发并实践。  相似文献   
46.
大庆外围低渗透油田储层伤害分析   总被引:16,自引:10,他引:6  
论述了大庆外围低渗透油田压力损失,有机垢,无机垢,储层敏感性及入井液的固相颗粒等造成的储层伤害类型,分析了储层伤害的典型实例及采取相应保护措施后的效果,提出了低渗透油田要采取早期注水保持地层能量,采用高水质注水保证油层具有稳定的吸水能力,采用优质工作液降低油层伤害程度,建立敏感性数据库和智能判别系统等保护层方面的建议。  相似文献   
47.
针对传统利用摄像头识别的车道线侧向定位技术中,因车道或者其左右边界点匹配错误导致换道等工况下行驶易造成较大定位误差的问题,本文结合换道识别方法,首先提出了多指标加权评价地图匹配算法,设计了车道左右边界点确定方法;然后,在准确匹配到车道和其边界点的基础上,提出了一种基于摄像头的双边界线侧向定位方法,提高了车辆相对车道的侧向定位精度;最后,将摄像头与全球定位系统(GPS)、惯性测量单元(IMU)、轮式里程计和轻量化车道级地图融合形成一个完整的定位系统。实验结果表明,与传统利用摄像头与车道线融合定位方法相比,本文设计的定位系统精度和稳定性有了明显提升,为自动驾驶定位提供了一种低成本、高精度的解决方案。  相似文献   
48.
针对利用轮式里程计定位时会产生难以预测和多变误差的问题,提出了使用Transformer神经网络建立轮式里程计误差预测模型,以准确预测变化的里程误差,提高了轮式里程计的定位精度。首先,建立不考虑工况特征和考虑工况特征两种模型。然后,在多种工况下与LSTM模型进行对比实验,结果表明:在常规和挑战性工况下,本文模型相比LSTM模型具有更高的精度、稳定性和可靠性。同时,相比于不考虑工况特征,考虑工况特征能有效提高模型的整体性能。  相似文献   
49.
基于加速度反馈的任意道路和车速跟随控制驾驶员模型   总被引:9,自引:1,他引:9  
建立一个高效的能够适应复杂汽车行驶工况的驾驶员模型是进行"人—车—路"闭环仿真的关键。利用离散的数表方式对驾驶员跟随的任意道路路径和车速进行描述。以此为基础,提出任意路径下的预瞄点搜索算法,使"预瞄—跟随"驾驶员建模理论可应用于任意道路路径和车速的跟随控制。根据车速变化不断更新侧向加速度增益,实现驾驶员模型方向控制和速度控制的解耦。通过引入加速度反馈,建立一个简单而有效的跟随任意道路路径和车速的方向与速度综合控制驾驶员模型。仿真表明该驾驶员模型具有良好的路径与车速跟随精度。  相似文献   
50.
泥炭质土是一种特殊的区域性软土,土体有机质含量较高,工程性质极差.为得到泥炭质土的物理性质指标的可靠取值范围,采用K-means聚类分析法对泥炭质土的三个基本物理性质指标:含水率w、天然重度γ、相对密度d_s进行分析,发现当聚类数K=1时,其参数频率直方图均不能很好的满足常见的正态、对数正态和Gamma分布;当K≥2时,分类中总有一类能很好的保留K=1时样本分布的主峰值信息,且这一类样本数量最多,样本频率分布也更接近正态分布。依据正态分布标准方差σ~2的大小,采用不同的区间长度划分原则确定岩土参数的取值区间,并和工程实际采用值对比,检验方法的可行性.该分析方法能为工程设计及施工参数取值提供参考,也能为岩土参数取值分析提供新的分析方法.  相似文献   
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