BN-303光刻胶前烘工艺对MEMS三维结构的影响

利用传统紫外光曝光方式,通过扫描电镜观察了刻蚀后样品的表面形貌,定性地讨论前烘工艺对MEMS三维结构的影响。得到优化的工艺为：在对氧化后的硅片进行标准清洗,烘箱温度200℃活化表面30 min。涂胶旋转速度600 r/min,旋转15s,曝光时间为17 s的条件下,最佳前烘温度为80℃,时间为30 min。研究结果为微器件的制造提供了一些可靠的工艺参数。     

利用-x-s图控制汽车零件制造质量

阐述了应用计量控制图中的均值-标准差控制图（x^- -s图）对汽车零件制造质量进行控制的计算机系统。该系统对机械零件加工质量进行实时控制，对加工过程的有关数据进行收集，按统计质量控制原理进行分类、统计、绘制控制图。对所得到的图进行分析，判断生产过程是否处于控制状态；还得到零件单项质量不合格率等统计结果。     

火炮牵引动力学研究

本文采用拉格朗日方法研究了牵引榴弹炮在牵引行驶状况下的动力学问题。建立了具有三维23个自由度的动力学模型。编制了相应的模拟道路不平度输入程序。研究了在不同道路上行驶时的动力学响应特性和离散激励下的动力学响应的分析方法。并以牵引榴弹炮上的一些敏感和薄弱部位的动力学响应为例进行了试验验证。理论计算和试验结果符合较好。该研究为开展火炮牵引试验提供了一种新的方法。     

旋挖钻机如何应对夏日高温

旋挖钻机在使用过程中,随着时间的推移,会出现各种各样的问题.高温引起的故障是维修中经常遇到的故障现象,给旋挖钻机用户带来了很大的烦恼和困惑,其对机器性能及寿命影响比较大,排除起来往往有一定难度.     

从北京之路看莫斯科都市囤发展规划

俄罗斯前总统梅德韦杰夫2011年6月17日在圣彼得堡国际经济论坛上提出了莫斯科市行政区划调整、将联邦行政机关从莫斯科市中心迁往新区的建议,随后莫斯科市政府即制定莫斯科新版图发展构想组织国际招标,并邀请北京市组织技术力量,针对参赛的十家方案,结合中国改革开放三十年来城市规划与新城建设（特别是北京）的经验教训,对“莫斯科都市圈发展规划”提出思考与建议。     

高温切削

随着工业的发展,需采用一些在强度、耐磨性、耐热性等方面都优于一般的金属材料。但其切削性能往往较差,例如耐热合金,几乎无法切削加工,虽可采用精密铸造,而表面加工也只能采用磨削。切削难加工的金属材料,可采用高温加热,使材料软化而后切削。德、美等国都致力于高温切削的研究、试验,并成功地用于生     

迫击炮座钣－土壤耦合发射动力学分析研究

为研究某型迫击炮座钣在密实中硬土上发射过程中的结构强度问题,基于非线性有限元理论,建立了该迫击炮座钣与土壤耦合力学有限元模型,该模型考虑了土体本构模型、结构－土壤接触非线性关系;以静力学分析和动力学分析,得到座钣的应力分布规律以及座钣关键部位的动应力变化曲线;通过对比表明：相同条件下的两种加载方式,座钣的最大应力的位置基本一致,静力学分析的结果比动力学分析的结果大9％左右。计算与对比结果为对迫击炮座钣结构进一步优化提供参考依据。     

从资源、人口、土地、环境切入的生态规划

在本次<北京城市总体规划>修编中,综合生态规划是一项新的内容.生态规划的出现是随着城市发展应运而生的.经济发展相对落后的时期,人们最关心的是就业和收入问题;随着就业和收入的稳定,人们开始关心住房以及公共服务设施等问题;生活水平提高了,社会服务设施发展了,人居环境、生态环境就会渐渐被重视.     

北京城市基础设施战略研究(二)

3北京城市基础设施发展战略 3 1北京城市水源与供水发展战略 3.1.1用水分析 从1990～2000年用水发展看,由于城市外来人口的快速增长和人们生活水平的提高,城市生活用水的增长超出了预期.工业用水和农业用水由于产业结构调整、城市建设占用农田和节水因素的影响均有所下降.     

基于ABAQUS的某火炮击发机构碰撞仿真分析

针对击发机构中击针存在的不足,从碰撞力学的角度对某火炮击发机构进行碰撞分析计算。对击锤与击针的碰撞及撞击力进行分析,利用有限元分析软件ABAQUS对某火炮击发机构建立有限元模型,进行有限元仿真计算,得到了击锤与击针的应力、速度、位移等参数。依据仿真结果分析可知,构件相撞时细长杆更容易发生疲劳断裂,应着重对击针的危险断面进行分析,提出改进措施。该研究对提高击针寿命有一定的意义。