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以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。 相似文献
52.
中国原子能科学研究院(CIAE)在20世纪90年代建造了一台30 MeV紧凑型强流质子回旋加速器后,经过近30年的发展,先后自主研发成功了基于剥离引出技术的能量为10 MeV、14 MeV、100 MeV、硼中子俘获治疗用14 MeV/1 mA等系列能量的紧凑型强流质子回旋加速器。建成的100 MeV紧凑型强流质子回旋加速器(CYCIAE-100),是目前国际上能量较高的一台紧凑型强流质子回旋加速器,最高流强达到520 μA,束流功率达到52 kW。建成的硼中子俘获治疗用的质子回旋加速器,也是我国首次自主研发成功的引出质子束流强达到mA量级的强流质子回旋加速器。在系列能量的紧凑型强流质子回旋加速器研发过程中,CIAE对剥离引出后的束流色散效应、剥离膜与束流夹角对引出后的束流品质的影响、单圈剥离引出技术等紧凑型强流质子回旋加速器剥离引出技术等方面展开了研究,且自主开发出了剥离引出计算程序,为紧凑型强流质子回旋加速器的应用作出了贡献。 相似文献
53.
对环形通道内金属钠起始沸腾壁面过热度进行实验研究。实验段长800 mm,环形通道外径10 mm,内径6 mm。电加热元件最高热流密度为846 kW/m2,进口过冷度为63.1~287.8 ℃,质量流量为7.2~122.0 kg/h,系统压力为0.85~28.79 kPa。实验结果表明,起始沸腾壁面过热度随热流密度和进口过冷度的增加而升高,随质量流量和系统压力的增加而降低。拟合得到了关于起始沸腾壁面过热度的半经验关系式,关系式计算结果与实验数据符合良好。 相似文献
54.
严重事故下熔融物与下封头间球形窄缝通道的存在对于下封头结构的完整性有一定的积极意义。本工作通过理论分析,在汽液两相间逆向对流限制机理的基础上提出了球形窄缝通道内的CHF机理模型和预测关系式,预测结果与实验数据符合较好,验证了所建模型的正确性,并进一步分析了系统压力、熔融物半径、间隙尺寸等关键参数对临界热流密度的影响规律。利用本工作的预测模型对三哩岛(TMI-2)事故后堆芯熔融物特性进行了计算分析,结果表明,熔融物与下封头内壁面间的球形窄缝可有效带走堆芯余热,保证了下封头的完整性。 相似文献
55.
经过60年的发展,中国原子能科学研究院(CIAE)独立自主地开展了基于PIC技术的强流回旋加速器束流动力学的大规模并行计算的核心算法研究,开发了CYCPIC2D、CYCPIC3D和OPAL-CYCL等强流回旋加速器束流动力学模拟程序,搭建了专用的高性能并行化计算机群PANDA。本文以CIAE已建成及在研的不同类型的回旋加速器为例,总结了回旋加速器基本束流动力学的分析方法和主要计算结果,并介绍了CIAE在回旋加速器束流动力学与多物理场模拟技术方面的发展与应用。 相似文献
56.
拉伸试验是研究预制装配式外墙用纤维增强杆拉伸性能的基本方法,对纤维增强杆现有的拉伸性能试验方法进行改进,可以解决拉伸试验易出现的数据偏低或偏高、离散性大等问题,为装配式建筑工程的设计和验收提供理论依据。文章针对纤维增强杆的特性及拉伸试验时出现的问题,对拉伸实验的试件制作方法、试件初始横截面积的测定、试验夹具设计等进行改进,并对3组15个试件的拉伸试验试验结果进行分析。结果表明:采用钢套管和环氧树脂砂浆对杆件的夹具夹持端进行灌浆锚固制作拉伸试件,用设有横向肋纹的直角三角槽夹具装夹并进行拉伸,试件均为有效破坏,试验成功率为100%;采用排水法测定杆件的初始横截面积,设置拉伸速度自动提示切换的试验方案,拉伸强度和拉伸弹性模量最大相对误差均±20%,变异系数均0.1,其数据的离散性小。 相似文献
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59.
60.
目前国内外对挖掘机控制系统的设计都是以各被控对象是确定性系统这一前提下进行的。本文在分析挖掘机工作特点的基础上提出了挖掘机控制系统不应是确定性的而是随机性系统的结论。还提出对挖掘机的电力拖动控制采用自适应控制的必要性和可能性,对采用自校正调节器的自适应控制的控制系统进行了计算机仿真。 相似文献