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31.
离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
采用正交试验设计方法,系统研究了离子束溅射HfO2、Ta2O5 和SiO2 薄膜的沉积速率与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。采用正交表L9(34)设计了9 组实验,采用时间监控的离子束溅射沉积方法,分别制备HfO2、Ta2O5 和SiO2 薄膜,并对三种薄膜的27 个样品采用椭圆偏振法测量并计算物理厚度,继而获得沉积速率。实验结果表明:对Ta2O5 和SiO2 薄膜沉积速率影响的工艺参数相同,影响权重从大到小依次为离子束流、离子束压、氧气流量和基板温度;对 HfO2 薄膜沉积速率影响的工艺参数按权重从大到小依次为离子束流、离子束压、基板温度和氧气流量。研究结果为调整HfO2、Ta2O5 和SiO2 薄膜沉积速率提供了依据。  相似文献   
32.
关于一种算术编码数据加密方案的密码分析   总被引:1,自引:1,他引:1  
本文分析了一种基于算术编码的数据加密方案。如果采用原方案的加密算法,则密文表达式有误,解密算法不能得出正确的明文,且破译者能在O(n^2)内求出密钥,如果采用原方案的解密算,破译者也可在O(n^2)内求出密钥,从而彻底的攻破了这种体制。  相似文献   
33.
一种任意数量托管代理的密钥托管方案   总被引:5,自引:0,他引:5       下载免费PDF全文
谢冬青  张大方  李超  冷健 《电子学报》2001,29(2):172-174
已有的密钥托管方案都要求恢复密钥的托管方数量相等,本文提出一种新的密钥托管方案,在恢复会话密钥时,可以是任意指定的托管方数量,托管方成员增加、减少、更换时,无需更改已托管的密钥碎片,密钥分拆和密钥恢复运算量各不超过4n+1次RSA运算.n为托管代理总数.  相似文献   
34.
基于SSL协议的网络安全模型及其实现   总被引:1,自引:0,他引:1  
文章介绍了基于安全套接层协议的三种网络安全模型,提出了扩展SSL协议的算法和实现。分析和实验表明,上述模型能够有效地解决网络安全中的加密和解密,签名和验证问题。  相似文献   
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