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采用二维面探测器X射线衍射(XRD)测量1μm和0.5μm厚Al互连线退火前后的残余应力.沉积态Al线均为拉应力,且随膜厚的增加而减小.沿长度方向的应力明显高于宽度方向的应力,表面法线方向应力最小.250℃退火2.5h后,互连线在各方向上的应力都减弱,其中1μm Al线应力减弱幅度高于0.5μm互连线.采用电子背散射衍射(EBSD)方法,测量退火前后Al互连线(111),(100),(110)取向晶粒的IQ值.退火后平均IQ值提高,互连线残余内应力随之减小.EBSD分析结果与XRD应力测试结果相符合. 相似文献
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对钛合金加筋壁板热环境下的稳定性试验方法开展了研究,在壁板单面受热条件下,对壁板施加压缩或剪切载荷,在热/载联合作用下测试壁板高温应变,考核壁板的稳定性是否满足设计要求。采用石英灯辐射加热模拟了壁板的稳态温度环境,设计了专门的夹具实现了热环境下力载荷的施加,采用数字散斑非接触应变测试系统进行了壁板高温应变的测试。此外,建立了壁板有限元分析模型,进一步分析了热环境、温度场均匀性、连接夹具与试验件的螺栓数量对试验结果的影响规律。本文的研究对高速飞行器高温区结构壁板的稳定性设计提供初步的验证方法。 相似文献