等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜

集成电路的高速发展为铜互连提出诸多要求, 其中, 如何低温条件 (≤ 150℃) 下在大深宽比的通孔或沟槽中沉积保形性好、纯度高、导电性好的铜籽晶层是亟需解决的问题。本文利用等离子体增强原子层沉积技术, 以脒基铜为铜前驱体, 以氢等离子体为还原物质, 在较低的沉积温度 (100℃) 下, 沉积了纯度高、导电性能优良的铜薄膜。在10:1的硅基沟槽中, 表面与沟槽底部厚度均匀 (~80 nm)。考察了放电输入功率对薄膜形貌的影响并利用时间分辨发射光谱技术对氢等离子体进行在线诊断。本论文研究表明铜脒基前驱体用于低温等离子体辅助原子层沉积工艺, 可有效地解决铜薄膜沉积过程中铜粒子的团聚问题, 并为其它类脒基前驱体进行金属薄膜的沉积提供借鉴。     

石英微晶天平技术在原子层沉积碳化镍薄膜过程中的应用研究

采用等离子体增强原子层沉积技术分别以Ni (amd)₂、Ni (dad)₂为镍、碳前驱体,氢等离子体为还原剂成功沉积了碳化镍薄膜。两个沉积过程中,碳化镍薄膜厚度都随着反应循环次数的增加而线性增加。利用石英微晶天平技术对碳化镍薄膜的沉积过程进行了原位在线测量。初步提出碳化镍薄膜的沉积机理,其中由等离子体作用产生的氢原子对沉积过程有重要作用。一方面,在等离子体中原子氢与Ni (amd)₂或Ni (dad)₂发生化学反应,生成Ni、挥发性的N-叔丁基乙酰胺盐和碳氢化合物,这些镍在镍表面上有吸附和分解的趋势。此外,原子氢对吸附的碳氢化合物脱氢生成碳化镍和大量碳物种具有促进作用。另一方面,预计它还会刻蚀碳化镍表面的无定形碳和石墨,或者将碳化镍分解成具有催化活性的金属镍。     

课程《数控机床》多媒体CAI课件的制作

本文了制作《数控机床》多媒体CAI课件的必要性，并重点介绍了该软件制作的要点及技巧。     

接触氧化一体化装置处理二级出水并回用

采用一体化装置（接触氧化池、斜管沉淀池、砂滤池）对二级处理出水进行深度处理，处理后各项水质指标均达到《生活杂用水水质标准》（CJ25．1—89），处理费用为0．8元／m^3。     

真空玻璃安全性综述

本文从实际应用的角度出发,结合国内对建筑用安全玻璃的标准和规范的具体要求,论述了真空玻璃应用安全性方面的问题。在提高真空玻璃产品自身强度方面,使用低温封接技术提高真空玻璃表面应力,通过理论分析和计算来科学合理地设计支撑物外形和排列间距,并模拟实际使用工况分析计算真空玻璃封边强度,从上述三个方面论述了真空玻璃在实际应用中具有很高的安全性。最后,结合标准和规范中对真空玻璃应用中安全性的规定,分别给出了真空玻璃在玻璃幕墙、门窗以及采光顶等场所应用时推荐使用的安全配置。     

Restraint Effect of Filaments on Applied Voltage in Atmospheric Pressure Glow Discharge

In this study, argon and nitrogen were used as the discharge gases in radio-frequency (RF: 13.56 MHz) powered dielectric barrier atmospheric plasma. It was noticed that in single dielectric barrier discharge (DBD) with nitrogen as the discharge gas, or in argon plasma with a high applied power, micro-filament channels were easily formed. The channels in these two kinds of discharge were both constrictive on the bare metallic electrode and expansive on the opposite electrode covered with a quartz layer. The number of micro-channels was increased along with the input power, which caused the change in the I-V curve shape, i.e., the current kept increasing and the voltage fluctuated within a confined range. With double dielectric layers, however, no micro-channels appeared in the ICCD images, and the I-V curve demonstrated a totally different shape. It was assumed that micro-filaments exhibited a restraining effect on the discharge voltage. The mechanism of this restraining effect was explored in this work.     

全自动双小车集装箱岸桥的结构特点和技术参数优化分析

通过与常规单小车桥式起重机的对比,介绍了全自动双小车集装箱岸桥的结构特点,提出了在岸桥结构设计时应注意的事项,同时对岸桥技术参数进行了优化分析,得出了一些重要的技术参数.     

钼添加量对硬质合金组织和性能的影响

研究了钼添加量对硬质合金组织和力学性能的影响。结果表明,添加适量的钼能提高硬质合金的硬度和抗弯强度,但钼的添加却降低硬质合金的断裂韧性。     

高等职业教育实践教学存在的问题及其对策

实践教学是高职院校教育教学工作的重要组成部分,是培养技术应用型人才的关键环节,也是提高高职毕业生就业能力的关键.目前我国高职院校在实践教学工作方面还存在着诸多问题,本文通过分析这些问题,提出了加强实践教学的相应措施.这对提高人才培养质量将起到重要的作用.     

无机氧化硅薄膜制备的原位诊断及薄膜特性研究

采用23kHz脉冲电源,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体,氧气为反应气体,氩气为辅助气体,利用平行板式电容耦合等离子增强化学气相沉积装置在PET基底上制备高阻隔无机氧化硅薄膜.通过等离子发射光谱及四极杆质谱仪的实时在线诊断,对等离子体中的中间产物及活性物种进行检测.沉积薄膜的化学结构采用傅里叶变换红外光谱仪进行分析,同时测量了所制备薄膜的透氧率.结果表明,随着氧气含量的增加,等离子体中的碳氢化合物及氧化物含量增加,这说明,此时等离子体中存在较强的碳氢化学反应及氧化反应.在氧气含量较高时,薄膜有机成分较少,属于无机氧化硅薄膜.薄膜透氧率测量显示,在氧气与单体比率为50%时达到最小值1.71cc·m-2·day-1·atm-1.