多晶硅薄膜压阻系数的理论研究

利用应力退耦模型,分别对多晶硅薄膜晶粒中性区和晶界势垒区的压阻系数进行了理论分析,并推导出多晶硅压阻系数的表达式.实验结果表明,利用文中推导出的理论公式所获得的计算值与实验测量结果基本符合,所给出的有关多晶硅压阻系数的理论结果可以作为多晶硅特性分析的理论依据.     

MEMS兼容丝网印刷PZT压电厚膜研究

对丝网印刷PZT压电厚膜制备工艺浆料配置、印刷技术、退火条件、上下电极的选择及极化方法等进行了研究,并采用扫描电子显微镜(SEM)及与之配套的能谱分析仪对制备的PZT样品的微观结构、成分进行了测试分析.结果表明,PZT压电厚膜的膜厚可达100μm,印制图形分辨率在500μm以上,在800℃经1h退火就可获得良好的微晶结构,且具有压电特性.     

LPCVD多晶硅薄膜的晶体结构

本文研究了用于制作压阻元件的LPCVD多晶硅薄晶体结构与淀积温度,膜厚及热处理温度的关系。多晶硅薄膜的织构和晶粒度不仅与淀积温度有关,而且与膜厚有着密切的关系,1000℃以上的高温热处理具有增大晶粒度和减小薄膜在淀积过程中形成的晶粒优先取向的作用。     

用于加速度计接口电路的新型Σ-Δ电压-频率转换器的设计

设计了一种基于Σ-Δ调制器技术的新型电压．频率转换器，可用于加速度计接口电路将模拟电压信号转换成相应的频率输出信号，且其对于恒定输入电压具有稳定的输出频率，具有正负两种转换特性．采用中国电子科技集团二十四所的4μm P阱标准CMOS工艺参数对电路进行了模拟仿真．在10V电源电压下，其时钟频率为1．04MHz，输入电压范围为1．5—8．5V，输出频率范围为40-533kHz，转换灵敏度约为134kHz/V，非线性度小于0．08％．仿真结果表明，其可广泛应用于矢量传感器的模数转换接口电路．     

磁通门CMoS接口电路设计

为实现三端式磁通门接口电路的集成．提出一种新颖的包括驱动和检测功能的磁通门CMOS接口电路．驱动电路采用开关网络和负反馈环实现全差分驱动来替代传统的隔离变压器驱动．通过实时平衡驱动电极上的电压信号来抑制电源电压的漂移以及温度变化的影响．检测电路利用驱动信号二倍频为基准的开关相敏解调实现二次谐波提取,同时采用闭环检测．以提高系统线性度．该电路基于0．5IxmCMOS工艺实现．测试结果表明,该微型磁通门磁力计（三端式探头和CMOS接口电路）的灵敏度为30．8μV／nT,非线性度为0．62％,电源电压为10V,功耗为100mW,芯片面积仅为15．54mm2．     

键合温度对PMMA电泳芯片电渗流的影响

在不同温度条件下完成了PMMA电泳芯片的热压键合,研究了键合温度对电泳芯片电渗流流速的影响.通过采用2%HEC+1×TBE的筛分介质对沟道进行改性,以硼砂和TBE为缓冲溶液,对相同沟道截面的电泳芯片的电渗流流速进行测量.实验结果表明,PMMA电泳芯片的电渗流流速随键合温度的升高而减小,改性后比改性前电渗流流速变化更为明显.     

基于遗传算法的直接甲醇燃料电池的数学模型及优化设计

微型直接甲醇燃料电池由于具有系统结构简单、体积小、环境友好、燃料比能量高及便于携带与储存等优点,在便携式电源,如手机、笔记本电脑等上展示出良好的应用前景。研究DMFC的数学模型可以深入了解DMFC中物质的传递过程和电化学机理,为寻找DMFC性能的最优化工作条件提供理论依据。主要依据微型直接甲醇燃料电池中物质传递的基本原理及电化学动力学机理,建立微型直接甲醇燃料电池的一维数学模型,利用遗传算法对其进行优化设计。仿真结果显示当阳极甲醇浓度为2.32mol/L,阴极氧气浓度为0.06mol/L,电流密度为545.67mA/cm2,DMFC的功率密度达到最大值为71.5mW/cm2。     

体硅电容式双轴微加速度计的信号检测新方法

在研究体硅电容式双轴加速度计结构部分,分析差分电容检测方法的基础上,提出了一种适合该加速度计的新型信号检测方法,此方法可有效地将两轴的混叠信号分别进行输出。通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性。且依据0.5μmCMOSN阱工艺参数对总体电路进行模拟仿真,5V单电源供电,微加速度计单轴灵敏度为50mV/gn,频响为2.3kHz,量程为±50gn。     

新型低噪声微机械陀螺闭环驱动电路

为将陀螺结构引入到闭环驱动电路的仿真系统中,建立了与微机械陀螺结构等价的电学模型.微机械陀螺闭环驱动电路基于电荷泵锁相环技术,用低噪声跨阻放大器代替传统的电荷放大器实现I-V转换,有效避免了电荷放大器在实现I-V转换时所产生的随陀螺固有频率变化而变化的相位误差.用基于CCCII＋技术的有源电阻代替无源电阻,大大降低了电...