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71.
PECVD 技术制备低折射率光学薄膜   总被引:2,自引:2,他引:2  
采用等离子体增强化学气相沉积法在硅片上沉积含氟氧化硅薄膜,用椭偏仪测量薄膜的光学参数,研究了在固定抽速和真空度自动调节情况下C2F6气体流量的变化对薄膜折射率、消光系数、沉积速率的影响。实验表明在温度300℃、射频功率200 W、压力20 Pa,SiH460 sccm,N2O440 sccm,C2F630 sccm的工艺参数下沉积的薄膜在550 nm处折射率为1.37,消光系数4×10-4,可作为光学减反膜的材料。  相似文献   
72.
为得到具有器件应用价值的非晶硅薄膜,首先采用等离子体增强化学气相沉积系统获得非晶硅薄膜,之后用离子注入设备对该薄膜进行镍离子注入掺杂。用椭偏仪测试薄膜厚度,得知非晶硅薄膜厚度为200nm,且沉积工艺稳定。X射线衍射仪测试表明,所沉积的薄膜属于完全非晶态。用四探针薄膜电阻测试设备测试非晶硅薄膜的方块电阻,结果表明,当掺杂浓度为2.5×1019个/cm3,离子注入能量为35.2 keV时,掺杂后的非晶硅薄膜具有较好电学性质,TCR约为-0.7%,室温下的方块电阻为992 kΩ/□。  相似文献   
73.
主要研究无线局域网MAC接入性能,从IEEE 802.11协议、无线局域网接入性能两个方面对这个问题进行了研究,无线局域网灵活,安全性高,扩展方便的优势是有线网络不能比的,但是无线局域网MAC接入性能在复杂的网络运行环境下存在较大的波动,有必要对其进行深入研究。  相似文献   
74.
周顺 《广石化科技》2006,(1):5-8,12
介绍了汽车保险杠的概况及聚丙烯汽车保险杠的发展。阐述了汽车专用料生产牌号的选择,聚合工艺的生产过程,生产方案的设计以及成品参数的对比。在抗冲牌号J641生产经验的基础上进行一系列的调整,生产出乙烯含量更高、抗冲性能更好的产品,成功地进行了聚丙烯汽车保险杠专用料的开发。  相似文献   
75.
浅谈钢丝绳芯强力胶带硫化工艺的优化   总被引:1,自引:0,他引:1  
陈斌  夏咸文  王和志  周顺 《煤炭技术》2002,21(10):72-73
介绍强力皮带硫化工艺优化方法 ,拓宽工艺适用性。  相似文献   
76.
77.
78.
等离子体增强化学气相沉积系统的温度控制研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),研究分析了基于PLC和触摸屏的系统温度控制方法。该方法提高了PECVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性。  相似文献   
79.
使用热失重/傅里叶变换红外联用( TG-FTIR)技术研究了柠檬酸的热裂解特性,测定并比较了不同氧气浓度下柠檬酸的热重(TG)和微商热重(DTG)曲线,以及柠檬酸热解气相产物相对含量和生成规律,探讨了柠檬酸可能的热解机制.结果表明:①柠檬酸的热解气相产物主要有CO2,CO,H2O,酸酐和酮类物质.CO2是气相产物中相对含量最高的物质,CO最低;水最早出现在气相产物中,酸酐是最后存在于气相产物中的物质;②柠檬酸可能有2种主要热解途径:先脱水后脱CO2的酸酐生成模式和主要脱CO2的酮生成模式.在热解初期,2种模式同时发生,氧气浓度的增加有利于酮的生成.在较高温度下,主要以酸酐生成模式为主.  相似文献   
80.
随着非线性负荷使用比重越来越大,在配电网中易产生谐波,造成谐波污染。因此,一种准确、快速的谐波分析方法受到关注。该文提出一种基于前/后向扫频技术的非迭代谐波潮流(HLF)方法,考虑线性负载和电容器组对配电网谐波发射的影响的同时进行谐波分析。考虑线性负载效应,将所提出的方法用于电容器补偿的IEEE 69总线配电网络的网络重构中。结果表明,该方法比常规的HLF方法的优化速度快了18.6%。此外,还表明线性负载建模方法会影响重构结果。  相似文献   
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