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采用介质键合技术制备的Si基GaAs材料衬底,缺陷密度小。对待键合的器件结构电学性能影响小。对采用目前常见的介质材料制备的Si基GaAs材料的力学性能进行了仿真分析,得到用于制备MEMS衬底的最佳介质键合层是SiO2,其衬底材料应力转换率高、量程大、位移小、制备工艺简单且为亲水性,制备的Si基GaAs衬底键合强度大,机械特性好。同时,对不同厚度的介质层材料对Si基GaAs材料的力学性能影响进行了研究分析,得到介质厚度越厚,其应力转换率越高,衬底材料的力敏效应就会越好。 相似文献
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不同地形地貌的雷电流幅值概率分布对输电线路雷击跳闸的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
为了分析不同地形地貌条件下的雷电流幅值概率分布特征,首先以1999—2008年的雷电定位数据为样本,统计分析了广州市平原和山区的雷电流幅值概率分布特性和差异及其原因,然后根据平原和山区不同的雷电流幅值概率分布计算了不同电压等级下典型杆塔输电线路的绕击和反击危险电流概率。研究结果表明,造成广州市平原雷电流幅值比山区大的主要原因是土壤电阻率和海拔因素。此外,雷电定位系统测量雷电流幅值的办法存在一定误差,对研究结果会产生一定的影响。 相似文献
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传统综放工作面巷道均布置在底板中,在高瓦斯区及煤破碎情况下,巷道沿底板布置掘进困难,采用沿顶板布置方法,避免了沿底板布置掘进速度慢、掘进难支护、瓦斯涌出大及回采时三角区压力大、上隅角瓦斯涌出大、巷道超前维护段支护难等诸多缺点,取得了明显的经济效益和社会效益,在高瓦斯区及顶煤破碎区域,有很好的推广应用前景 相似文献