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高效率平面磁控溅射器的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm~2时溅射速率约为800nm/min,如果继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cos~nθ分布的前提下,发现当n=3.3时,实验数据和理论数据符合得较好。 相似文献
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通过合成的一系列具有不同分子量的聚丙烯酰胺的阳离子化制得具有不同分子参数的阳离子聚丙烯酰胺(CPAM)。经评价实验就分子参数对页岩抑制性的影响进行研究 相似文献
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PSD激光直线度测量仪 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了采用PSD传感器设计的激光直线度测量的工作原理,以及激光器、光靶和计算机系统的设计。 相似文献
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1 引言随着现代化的发展,有梭织机因生产效率低已逐渐被高效率的无梭机代替。目前,国内生产无梭织机主要依靠引进国外生产技术及设备和仿测两种途径。无梭织机中,剑杆织机以其结构简单、成本低而被国内许多厂、所仿测成功,并投入批量生产。剑杆织机除采用剑头载纬外,其它如开口、打纬、卷取和送经系统同有梭织机大体相同。剑头载纬是由引、接纬系统来完成的,它是剑杆织机的关键系统,也是仿测较困难的系统。我们在仿测日本石川725-190剑杆织机时,对其引接纬系统采用反求设 相似文献
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本文介绍智能控制在回转窑配料系统中的应用情况,并阐述该控制器设计、构成、软件系统特点及现场运行效果。 相似文献
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本文对穿过冷库搁楼层的柱子建立了三维稳态传热数学模型,对常用的隔热材料,模拟了柱子及其相连的楼板各表面的温度场、热流密度及总传热量,讨论了包柱高度对减少传热量的影响,从理论上给出了包柱高度的有效范围,为实际中采用的经验包柱方法提供了理论基础 相似文献
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