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极紫外光刻(EUVL)技术是实现45 nm特征尺寸的候选技术之一,产业化设备要求300 mm硅片的产率大于每小时80片(80 wafer/h),此时入射到掩模版上的极紫外光功率密度很高,掩模版上的吸收层和Mo/Si多层膜将分别吸收100%和35%的入射光能量,从而导致其热变形,引起光刻性能下降,因此必须分析和控制掩模热变形。利用有限元方法分析掩模版在不同功率密度下的热变形,结果表明,抗蚀剂灵敏度为7 mJ/cm2和5 mJ/cm2时,入射到掩模版上的光功率密度分别为259.24 W/cm2和184.38 W/cm2,掩模版图形区域x-y平面内最大变形分别为1.11 nm和0.71 nm,z方向最大变形分别为0.26 nm和0.19 nm。 相似文献
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塌岸是水库环境地质的重要问题之一。通过对地形地貌,地层岩性风浪作用,水库运用方式等岸影响因素的分析及其与三门峡水库的对比,经计算,得出小浪底水库的塌岸特点、规模及其对环境的影响,并认为水库运用方式对塌岸有较大的影响,但其塌岸规模不影响水库运用方式。 相似文献
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不知各位读者在使用手机电话簿时是否有这样的体会,当我们的电话簿名单越来越多的时候,要在里面找某个人的电话号码是不是很困难?不过现在好了,sony公司最近出品J16很好的解决了这个问题,并且提供了比其他品牌手机更强大的分组功能。 现在我们就配合图片来介绍一下J16的分组电话簿的使用。 首先进入 电话簿菜单。 用手机滚轮选到某个姓名──“X熊建”。 选择“组名未定义”。 可以看到J16手机提供的大量分组标识,我们选择其中一个──“男朋友”。 现在我们回到电话簿的主菜单,选择“查找”。 这时在查找菜单中有“按… 相似文献
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虚共焦腔具有极好的横模鉴别能力,可以实现基模输出,其模体积大而均匀,激光输出近场不烧孔,远场中心亮斑色全部能量的84%,其发散角近于衍射极限,在照射器上尤为适用。 相似文献
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说到七喜电子,其实曾经也出过手机,只是不太出名罢了,目前该公司卷土重来,最近发布了H797这款旗舰产品,其目的就是要和市场上众多的多媒体手机 一较高下。那么,这款官方号称DV手机的H797,到底有哪些过人之处呢?且听笔者 一一道来。[编者按] 相似文献
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我国生产的集装箱占世界生产量的95%以上,传统的手工集装箱堆场管理已经不适合现状的要求。本文介绍的自主开发的基于RFID电子标签和无线数据传输网络的可视化集装箱堆场实时信息管理系统可以有效地解决自动ID收集、跟踪与监控的实际问题,有助于供应链中的集装箱管理。 相似文献
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根据铁路统计数据多、数据全的特点,特别是机务统计的数据,所牵涉到的部门很多,主要有运用科、财务科、热力、各个相对应的机务段等,本文用实例法介绍了利用批处理命令对统计数据进行管理的方法,使统计数据更加规范、高效,准确,同时减轻了数据维护人员的工作量。 相似文献
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工业电视系统摄像点和监控点较分散,图像传输距离远。对于工业电视,采用基带传输价比最高。在重工业企业中,各类电气电子设备布置集中,电磁环境非常复杂,实际使用中工业电视视频信号基带传输方式受到电磁辐射干扰的情况较为普遍,干扰对图像观看效果影响较大。根据视频信号频段电磁环境的测试情况,分析采用同轴电缆进行视频基带传输时辐射干扰的产生原理,提出抑制辐射干扰的措施,有十分现实的意义。 相似文献