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为了实现无掩模光刻系统所需求的矩形准直平顶激光光束照明,提高照明系统的能量利用率,提出了一种利用双自由曲面整形的照明系统设计方法。根据光程守恒原理和折射定律,推导了积分形式的双自由曲面面形方程;采用数值解法求解积分方程,分别设计了含有双自由曲面的双透镜整形单元和单透镜整形单元的照明系统,使用光学设计软件对两种照明系统进行模拟,得到两种照明系统的照明均匀性在93%以上,能量利用率大于91%。结果表明,两种照明系统均能实现无掩模光刻系统的高均匀性、高能量利用率照明。 相似文献
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一种小波系数模型在图像噪声参数估计中的应用 总被引:5,自引:0,他引:5
在小波图像处理中,通常利用HH子带来估计高斯白噪声方差,目前流行的估计方法是由Donoho和Johnstone提出的(简称DJ法),但是该方法给出的估计值通常都偏大。针对这一点,该文将他们的方法结合双随机小波系数模型,提出了一种新的、递归的方差估计方法。在已由Donoho的方法获得噪声方差估计的粗略估计的情况下,新方法利用统计学理论将HH子带中的信号滤除从而得到更接近于纯噪声的HH子带,然后利用这一新的HH子带来估计噪声的方差。结合EM参数估计方法,该方法还可以实现非高斯噪声参数的估计,实验表明新方法同Donoho法相比有很大的改善。 相似文献
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在北美的大型露天矿采矿中存在着一个极为重要的物料运输问题。通常,这些矿山每天都要输送十万吨以上的矿石和废石,水平搬运的路程达数千英尺,垂直搬运的距离有几百英尺。在总的采矿费用中,运输费用所占 相似文献
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采用快速热处理和传统热处理工艺对金属有机物热分解法制备的镧钛酸铅铁电薄膜进行了热处理,用扫描电对不同热处理工艺和不同厚度的PLT薄膜的形貌进行了分析。结果表明,快速热处理工艺有利于活性高,较薄膜层的结晶和致密化反应;PLT薄膜在传统和快速热处理过程中的形成过程与蒸发和溅射薄膜的核生长型薄膜的形成过程相似;薄膜的形成经历了岛状-网状-连续的过程,即随层数的增加,薄膜从不连续转变为连续,而热处理工艺只 相似文献
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内燃结构氢氧合成氧化不均匀的原因及对策 总被引:1,自引:0,他引:1
从流体力学和传热学的角度,分析了在口径氧化炉中,采用内燃结构进行了氢氧合成氧化,造成硅片氧化层厚度不均匀的原因。并根据流体力学和传热学的原理,提出了解决这一问题的方法-设计了扰了流隔热装置。 相似文献
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随着信息技术的飞速发展,基于TCP/IP协议的互联网得到广泛的应用,其影响已经渗透到人们生活的各个方面。但TCP/IP络体系结构的开放性和简单性也带来了不少安全及管理上的问题。网络管理者迫切希望构建统一的网络管理系统,实现对网络进行管理的目的。文章通过对各类网络设备日志数据的集中采集和分析,构造了日志分析系统,以达到对全网运行状况进行检测的目的。 相似文献
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40.
基于重构系统的扩张状态观测器实现混沌系统的同步 总被引:1,自引:0,他引:1
利用n阶驱动系统的标量输出信号及其连续的n-1阶导数作为状态变量,得到一个具有Brunowsky规范形式的n阶重构系统.根据扩张观测器的思想,对此重构系统先构造扩张系统,然后设计扩张状态观测器,并将其作为响应系统.通过挖掘可测同步误差中所隐含的信息对扩张系统的各个状态进行估计,从而实现了系统的输出及其导数的同步.当满足一定条件,还可实现所有状态变量的同步.对系统、Duffing系统的仿真证明了该方法的有效性. 相似文献