杂质及掺杂工艺对纳米BaTiO3( 湿敏性能的影响

纳米材料粒径小,比表面积大,呈现出许多不同于一般块状固体材料的性质.BaTiO_3陶瓷是良好的热敏电阻材料及铁电材料,但是其感湿性能却较弱,电阻非常高,不能做成实用化湿敏元件.将BaTiO_3制成纳米量级时,它出现了明显的感湿现象.纳米BaTiO_3电     

MOEMS阵列光开关的微反射镜的制作

通过各向异性湿法腐蚀工艺利用 (110 )硅片制作了 8× 8阵列光开关的微反射镜阵列 ,反射镜面为 { 111}面 ,表面粗糙度低于 10nm ,垂直度好于用同样的方法在 (10 0 )硅片上制作的反射镜。     

(110)硅基MEMS光开关光纤定位槽的设计

利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题。依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两个光纤定位槽:一个为U型槽,两侧面均为{111}面;另一个是呈锯齿状的光纤槽,它是由腐蚀出的平行四边形蚀坑串组成。介绍了锯齿状沟槽的实现原理,对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计,并采用菱形凸角补偿结构实现凸角补偿。这两种光纤定位槽结构都能够很好地固定光纤,并实现了光纤的自对准,且制作方法简单。     

烧结温度和周期对NASICON纳米晶材料的影响

以常规廉价试剂作为原材料,采用溶胶-凝胶法合成了纳米晶NASICON材料．对材料的测试结果表明经800℃烧结的材料已经具有高的相纯度,而当温度进一步提高到1000℃时．所制备得到的材料具有良好的结晶特性和相对更高的相纯度。论文进而考察了合成材料时烧结温度和烧结周期对NASI—CON固体材料致密度的影响,同时复阻抗谱测试显示．较高致密度的材料具有较低的电阻和较强的固态离子传导能力。     

基于辐射功率的微热板测温系统设计

为了解决微小芯片表面测温的难题,设计了一种非接触式微区测温系统。首先利用光纤探头和光功率计测量微热板的辐射功率,再结合辐射功率与温度的关系,精确地测出微热板表面50μm×50μm区域内的温度。实验测试结果与利用有限元分析软件Ansys得到的模拟结果基本一致,并且更换不同口径的光纤探头可以满足不同面积的样品的测量要求。     

纳米与高分子复合湿敏材料性能分析

将两种湿敏材科纳米BaiTiO3与高分子(R)nM+X-混合制成复合湿敏材料.分析讨论了复合材料的IR,XPS谱图,并与BaTiO3谱图作了比较.     

纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究

利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.     

纳米TiO2薄膜紫外吸收特性的研究

选用不同材料做衬底,使用溶胶-凝胶法制备纳米TiO2薄膜,并采用XRD、AFM、UV、SPS对薄膜进行表征.在500℃以上焙烧2h后,即可获得锐钛矿型TiO2薄膜,粒径15nm左右,紫外吸收光谱分析表明,薄膜在220～350nm处有较强的紫外吸收.     

BaTiO－3纳米晶的湿敏特性研究

本文采用ＳＡＧ法和Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法合成了Ｂａ－ＴｉＯ３纳米晶材料，并对其湿敏性质进行了测定。结果表明，ＳＡＧ法合成的ＢａＴｉＯ３纳米晶具有较好的湿敏特性，响应快，恢复时间短，是一个较有前途的湿敏材料     

SiCl_4-H_2外延系统的Si迁移反应

本文用热力学方法研究了SiCl_4-H_2外延系统中的各种腐蚀反应和沉积反应。所得结果可以用于认识硅外延生长过程中的硅迁移效应。