BaTiO－3纳米晶的湿敏特性研究

本文采用ＳＡＧ法和Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法合成了Ｂａ－ＴｉＯ３纳米晶材料，并对其湿敏性质进行了测定。结果表明，ＳＡＧ法合成的ＢａＴｉＯ３纳米晶具有较好的湿敏特性，响应快，恢复时间短，是一个较有前途的湿敏材料     

SiCl_4-H_2外延系统的Si迁移反应

本文用热力学方法研究了SiCl_4-H_2外延系统中的各种腐蚀反应和沉积反应。所得结果可以用于认识硅外延生长过程中的硅迁移效应。     

Al_xGa(1-x)As LPE掺杂机理研究

本文将D.T.J.Hurle的点缺陷平衡模型推广到三元Ⅲ-V族化合物.从理论上计算了Sn、Ge和Te等元素掺杂Al_xGa_(1-x)As时,载流子浓度与液相杂质浓度的关系曲线.计算结果与实验值相符.     

掺杂Sb^3^＋的ZnO纳米晶敏感材料的性能

用柠檬酸盐法合成了含Ｓｂ＾３＾＋的ＺｎＯ纳米晶，探讨了Ｓｂ＾３＾＋对ＺｎＯ纳米晶结构和介电性能的影响，研究了灼烧温度及时间，杂质对ＺｎＯ纳米晶晶化过程的影响。用Ｘ射线射，红外光谱，热重差热，透射电镜研究了含Ｓｂ＾３＾＋的ＺｎＯ纳米的晶的性能。     

基于La0.7Sr0.3FeO3的微结构乙醇气体传感器的研制

以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料,设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器.基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计.实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8.0,功耗为261mW,是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2/3,响应时间约为1.5s,恢复时间约为2.5s,是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器.     

基于La0.7Sr0.3FeO3的微结构乙醇气体传感器的研制

以La_0.7Sr_0.3FeO₃为敏感材料，设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器.基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计.实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8.0，功耗为261mW，是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2/3，响应时间约为1.5s，恢复时间约为2.5s，是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器.     

利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构

利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性，设计一种以金属铂薄层为加热器，叉指状金薄层为信号电极，SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件。利用有限元分析工具ANSYS，对该硅基微结构气敏元件的加热衬底的温度场进行模拟和分析，根据分析的结果对所设计的气敏元件优化，优化后的气敏元件热损耗将更小，响应速度将更快。     

湿敏共聚物的制备及其敏感元件的电特性研究

利用接枝共聚反应合成了对湿度敏感的高分子材料,基于该共聚物制成的电阻式湿度传感器在全湿量程范围内,阻抗值变化了３个数量级,响应时间小于５ｓ。对元件的湿敏特性、电压特性,频率特性,温度特性以及交流特性进行了测试,对其敏感机理进行了分析。     

微结构气体传感器的优化设计

利用SiO2相对于SiNx有更低的热导率,作为膜式微气体传感器的热绝缘和电绝缘层,而单晶Si适合通过各向异性腐蚀形成倒杯状结构来支撑SiO2膜。将膜式微气体传感器中的加热器和信号电极设计在一个平面上,以减小工艺复杂度,获得较高的加热效率。利用有限元分析工具ANSYS分析比较加热器和信号电极在不同宽度与间距时的温度分布。当设定加热器宽度为50μm,信号电极宽度50μm,加热器和信号电极间距为25μm,微气体传感器将获得更低的功耗和比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。     

MOEMS光开关动力学过程分析

采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运动过程,得到精确的驱动条件分析结果.本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发,介绍了动力学分析方法的过程.通过数值求解方程,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果,将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的.