磁控溅射法镀制氮化铝薄膜特性研究

氮化铝薄膜具有高折射率,良好的化学稳定性,耐磨摩、高电阻等特性在微电子器件和光学薄膜中有着广泛地应用.本文研究了反应式磁控溅射方法利用Ar/N2混合气体镀制氮化铝薄膜的工艺过程,实验表明在高真空和高泵浦速率条件下,放电电压直接依赖于反应气体珠浓度.薄膜的折射率,消光系数和薄膜硬度都依赖于氮气浓度的比例.通过工艺研究,找到了氮气在不同浓度下对氮化铝薄膜的折射率,消光系数以及薄膜硬度的影响,找出了镀制氮化镀制氮化铝薄膜的最佳工艺参数.在Ar/N2工作气体中氮气含量保持在40%条件下,用反应式磁控溅射方法,可以精确镀制出良好的氮化铝薄膜,其中折射率范围在2.25~2.4之间,消光系数为10-3,薄膜显微硬度大于20GPa.该薄膜可以广泛应用于微电子器件和光电器件上.     

C60P在住宅楼梯照明系统中的应用设计

本文较详细地介绍了C60P可编程控制器在住宅楼梯照明系统中的硬件配置与软件设计,其系统设计较好地解决当前住宅楼梯照明中出现的矛盾和问题,既能节约用电,又能使用户合理负担电费,很好地满足了广大居民日常生活的需要。     

端部霍尔等离子体源沉积类金刚石膜的研究

本文通过对端部霍尔离子源特性的研究 ,采用自行研制的用于离子束辅助沉积的端部霍尔离子源成功镀制了类金刚石膜 ,并对采用该离子源制备类金刚石膜的工艺进行了研究和分析。实验结果表明 ,采用端部霍尔离子源镀制类金刚石膜不仅操作简单、可实现大面积沉积 ,而且类金刚石膜的沉积速率较大 ,最大可达 0 .8nm s,其折射率依不同工艺在 1.8～ 2 .2之间可调。并对不同工艺条件下制备的类金刚石膜的硬度进行了测试和分析。     

端部中空离子源的磁路研究

研究了端部中空离子源的磁路设计.在简要叙述端部中空离子源的基本原理及其对磁场要求的基础上,考虑了在设计离子源磁路时的关键问题和解决方法,并给出了实验结果和分析结论.     

单片机在自动洗车机电路系统中的应用

文章介绍了一种以MCS8098单片机为核心的自动清洗测控装置,阐述了该装置的硬件组成、工作原理及提高单片机工作可靠性的几种措施,并给出了程序流程图。     

我国工业机器人的发展走向——访机械部科技司赖维德高工

在我国,工业机器人的发展一直不尽如人意。那么我国工业机器人的现况到底如何?制约机器人发展的因素有哪些?机器人的使用与工人就业的关系如何?带着这些问题本刊记者采访了机械工业部科技司赖维德高工。     

中国电子商务的法律环境

关于电子商务法律的概念，严格地说，狭义的电子商务法属商法与国际商法范畴，主要用于规范电子商务活动中双方的权利义务、合同，以及相关的程序要件，可以包括电子签名法、电子合同法等。而广义的电子商务法则范围要广得多，除电子签名、电子合同外，还包括对电子商务基础环境、安全认证、消费者保护、信息发布、市场准入、责任承担等多个环节的规范和调整。     

准直器插入损耗分析

降低准直器的插入损耗是生产准直器的难点，本文在几何光学和高斯光束传输理论的基础上，利用矩阵光学原理和高斯光束耦合理论对准直器的原理和损耗进行计算和分析，提出一种用自聚焦透镜与球面透镜进行匹配的方法，并通过实验证明该方法能有效降低准直器的插入损耗，在生产过程中将逐渐采用这种方法进行装配，以提高生产效率．     

简讯

1988年11月18日机电部北京自动化所研制的 HJS 型水下焊接模拟压力舱内焊接机器人通过了舱外常压下的实焊验收。该机器人是为机电部哈尔滨焊接所的深水下焊接工艺试验而研制的。它实质上是一个机器人工作站,由直角坐标式的焊接机器人、十字工作