金属硅化物及其应用

目前,超大规模集成电路(VLSI)已发展到每单片上制造100,000个以上元件的集成度,对这种电路除了要求新的电路设计、新的器件结构与工艺等外,还必须进一步减少器件的几何尺寸。要求其结深为0.2～0.5μm、接触面积为1～2μm~2。因此,通常用来作为肖特基接触、欧姆接触、低阻栅的Au、Ag、Al和多晶硅等已不适应上述要求。Al具有高电导等优点,但由于Al在硅中的渗透及电迁移等问题,对如图1所示的结构要求即使是Al+1％硅合金也不能防止由于Al渗透引起的短路。多晶硅常作为MOS电路中栅极,但其电阻率较高(约10~(-3)Ωcm),当线宽缩小到1μm时,大的时间常数RC会影响电路的速度。因此,研究新材料和结构来适应VLSI中对金属化的要求是VLSI发展中重要的课题之一。 近十年来,人们对金属硅化物的形成、晶体结构、生长动力学与机理、力学电学性质及其与硅接触的界面性质、热稳定性等各方面进行了大量的研究。工作结果表明,金属硅化物具有约10~(-5)Ωcm的电阻率,良好的热稳定性及与硅接触形成的肖特基势垒具有高可靠性、重复性等优点。应用研究表明,金属硅化物是可替代铝直接与硅接触的好材料。现在,金属硅化物-硅接触正作为一种先进工艺应用到器件生产中。     

特发性非特异性间质性肺炎的光镜和电镜观察

目的：观察特发性非特异性间质性肺炎(INSIP)的显微和超微结构特点以及与肺纤维化发生的关系。方法：对7例INSIP患者经电视胸腔镜(VATS)取肺病理活检组织进行光镜和透射电镜观察。结果：光镜观察肺间质呈不同程度的炎症和纤维化,浸润的细胞主要是淋巴细胞和浆细胞。电镜观察查见Ⅱ型肺泡上皮增生,基底膜增厚,肺泡中隔内纤维细胞增生和胶原纤维沉积,淋巴细胞、浆细胞和巨噬细胞浸润,肥大细胞脱颗粒;纤维化型有明显的平滑肌和肌纤维母细胞增生。结论：INSIP以成熟的纤维细胞增生为主,多种细胞成分参与了肺纤维化的发生过程。     

纳米硅/晶体硅异质结电池的暗I-V特性和输运机制

采用HWCVD技术在P型CZ晶体硅衬底上制备了纳米硅／晶体硅异质结太阳电池,测量了晶体硅表面在不同氢处理时间下的异质结的暗I-V特性和相应的电池性能参数．室温下的正向暗I-V特性采用双二极管模型来拟合,可将0～1V的电压范围区分为4个区域：旁路电阻（0～0．15V）、非理想二极管2（0．15～0．3V）、理想二极管1（0．3～0．5V）和串联电阻（〉0．5V）．拟合结果表明,适当的氖处理时间（～30s）可有效降低非理想二极管的理想因子n2,即降低界面复合电流,表明具有好的界面特性．对于282～335K的暗I—V温度特性的研究表明,在0．15～0．3V的低电压范围,暗电流主要由耗尽区的复合电流提供,0．3～0．5V电压范围,对输运起主要作用的是隧穿过程,该过程可用通过界面陷阱能级的隧穿模型来解释．     

纤维素纤维/SiO2复合气凝胶的结构性能表征及应用

本文以纤维素纤维为骨架,原位生成SiO_2气凝胶,从而制备出纤维素纤维/SiO_2复合气凝胶。采用红外光谱(FTIR)、扫描电镜(SEM)、比表面积测试(BET)等手段表征了复合气凝胶的结构,通过热失重分析仪、接触角测量仪、纺织品热阻测试仪测试了复合气凝胶的基本性能,进而用复合气凝胶制作了保温服装,并采用暖体假人和红外热成像仪测试了其保温性能。研究结果表明,该纤维素纤维/SiO_2复合气凝胶具有优越的保温性能,轻薄柔韧,有望用于航空航天、极地科考、滑雪登山、以及时尚保暖服上。     

木质纤维素功能材料的研究进展

木材独特的多层级结构、优异的各向异性结构、良好的力学性能和微纳米通道,赋予其一系列非凡的性能,为功能材料的设计提供了更多可能.为提高木质纤维素资源的利用率和高值化转化,基于木质纤维素自身结构和理化性能,概述了木质纤维素在系列功能材料领域的发展,总结了结构设计及调控对木质纤维素功能材料性能的影响,综述了其在结构调控材料、...     

聚酰胺6/黏土/聚乙二醇共混调温纤维的制备与性能

通过熔融纺丝法制备了系列聚酰胺6/黏土/聚乙二醇(PTFs)共混调温纤维,并采用傅里叶红外光谱仪、差示扫描量热仪、热红外成像仪、热失重分析仪和复丝强力仪测试了纤维的结构、热性能、调温性能和力学性能。研究显示,PTFs调温纤维的结晶温度为33℃,结晶焓值达到8.46 J/g,且在100次升降温热循环后调温纤维仍保持良好的热性能。通过模拟冷热环境交替下纤维的温度—时间响应行为发现,在热环境(90℃)和冷环境(10℃)下,调温纤维体现出明显的温度滞后响应,与纯PA6纤维相比温差达到3℃。黏土/聚乙二醇在纤维中的最大质量分数为15%,在牵伸4倍时,纤维的拉伸断裂强度达到3.15 cN/dtex。     

芡实壳天然染料真丝染色动力学研究

为了探讨芡实壳天然染料在桑蚕丝上的染色机理,通过测定不同温度下芡实壳天然染料在桑蚕丝上的上染速率研究芡实壳天然染料在桑蚕丝纤维上的扩散系数和染色速率常数;根据线性拟合得出芡实壳天然染料在桑蚕丝纤维上的假一级动力学模型以及假二级动力学模型,比较得出芡实壳天然染料在真丝上的上染机理更加符合假二级动力学。     

绞股蓝可乐人群饮用试验报告

绞股蓝作为一种食物新资源正在受到国内外专家的重视。本试验证实:在每人每日进食1．19~2.25克绞股蓝干品,总皂甙摄入量为10．4~44．5mg/人日,持续60天的条件下,绞股蓝对成人的造血、肝功能、泌尿系统和免疫系统无不良影响,长期饮用非但不会成瘾,而且具有一定的抗疲劳、降低血中甘油三酯和抑制β-脂蛋白上升的作用。     

极性接枝对聚乙烯棚膜的电晕及涂覆性能影响

传统聚烯烃棚膜在生产中电晕处理往往需要消耗大量电能,且表面极性功能持效期较短,不利于可持续发展。为解决以上问题,文中采用反应挤出技术路线,将2种不同的极性单体——马来酸二丁酯（DBM）和甲基丙烯酸羟乙酯（HEMA）,接枝于茂金属线型低密度聚乙烯（mLLDPE）上,吹膜得到接枝改性聚乙烯膜,并通过电晕与涂覆纳米涂层进一步增强其表面极性,使其达到超亲水状态。通过不同的表征手段系统研究了电晕强度、单体种类及含量对接枝改性膜表面极性的影响,以及它们与纳米涂覆液之间的相互作用。由衰减全反射傅里叶变换红外光谱和X射线光电子能谱分析得知,电晕后薄膜表面产生了C=O,C—O极性基团,并且发生了碳链断裂;通过接触角测试证实,相比于未改性聚烯烃膜,接枝后改性聚烯烃膜的表面极性显著提高,达到相同接触角所需的电晕能耗大大降低;通过扫描电镜对纳米涂液涂覆后的改性聚烯烃膜表面形貌研究发现,极性单体DBM的接枝能够增强膜表面与超亲水纳米涂覆液之间的相互作用,从而大幅减少干燥过程中产生的涂层裂痕;最后,氙灯加速老化试验证实,接枝的DBM单体可以有效延缓涂覆膜的表面极性老化失效过程,延长改性涂覆膜的持效期。论文展示了接...     

掺Sn的In2O3透明导电膜生长优先取向对其光电性能的影响

采用反应热蒸发法制备掺Sn的In2O3(ITO)透明导电膜,系统研究了ITO薄膜生长的优先取向对其光电性能的影响.结果表明,ITO薄膜(400)取向的优先生长对其透过率影响很小,但可明显增加载流子迁移率,从而有效降低了薄膜的方块电阻.在两个相同的薄膜硅/单晶硅太阳能电池上分别沉积(222)和(400)ITO优先取向膜,光电转换效率分别为10.3%和12.9%,表明(400)取向更有利于提高电池效率.经优化,最佳衬底温度(Ts)为225℃,最佳氧流量(fO2)为4sccm.在优化的沉积条件下制备ITO薄膜,其电阻率可达到4.8×10-4Ω·cm,可见波段的透过率大于90%,性能指数为3.8×10-2□/Ω.