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161.
为制备出满足惯性约束聚变(ICF)实验要求的SiC薄膜,本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,以四甲基硅(TMS)作为唯一反应气源,在不同工作压强下制备SiC薄膜。利用扫描电子显微镜、表面轮廓仪、原子力显微镜、精密电子天平、X射线光电子能谱、傅里叶变换红外光谱对薄膜进行表征与分析。结果表明:SiC薄膜的成分与工作压强密切相关,随着工作压强的增加,薄膜中Si含量整体呈下降趋势;随着工作压强的增加,薄膜沉积速率先增大后减少,密度先减小后增大;与其他制备工艺相比,采用单一气源制备SiC薄膜,其表面粗糙度极低(1.25~1.85 nm),薄膜粗糙度随工作压强的增加呈先增大后减小的趋势。 相似文献
162.
163.
164.
采用直流/射频耦合磁控溅射法在Si(100)衬底上成功制备出类金刚石(DLC)薄膜。利用Raman光谱仪、X射线光电子能谱仪表征不同射频功率下所制备薄膜的化学结构,讨论射频功率对薄膜化学结构的影响。采用X射线小角反射法表征薄膜的质量密度,利用曲率弯曲法表征薄膜的残余内应力,采用扫描电镜和原子力显微镜表征所制备薄膜的表面形貌与粗糙度。研究表明:薄膜中sp3键的含量随着射频功率的增加而呈现出先增大后减小的趋势,且在射频功率为40 W时达到最大值45.6%。随着射频功率的增加,薄膜的表面粗糙度呈现出先减小后增大的趋势,当射频功率为40 W时薄膜的表面粗糙度最小,为1.6 nm。直流/射频耦合磁控溅射法在不同射频功率下制备出的薄膜,其内应力均低于1.0 GPa,薄膜质量密度的变化范围为2.26~2.44 g/cm~3,有望成功制备出内应力低、密度高的高质量DLC薄膜。 相似文献
167.
非法有害手机短信传播范围广,影响面宽,干扰了人们的正常生活,产重扰乱社会治安轶序.本文采用FNV1哈希算法对短信进行签名,利用短信签名对短信的性质加以鉴别,可以提高垃圾短信鉴别速度,不泄露被鉴别短信的内容,最大程度地保护了用户的隐私. 相似文献
168.
立足战区联合作战情报保障特点,着重解决有限的情报侦察力量和联合作战情报需求之间的客观矛盾,研究情报侦察力量优化配置流程,构建资源-任务匹配模型.针对侦察力量协同执行多种侦察任务产生资源冲突的情况,基于受限资源项目调度、武器目标动态分配思想,构建动态优化配置模型,最后结合情报侦察案例,运用粒子群算法对资源优化配置模型进行... 相似文献
169.
为了改进Mean Shift算法及其与卡尔曼滤波融合跟踪算法的性能,提出了融合两层卡尔曼滤波和Mean Shift的自适应目标跟踪算法。首先通过运动学方程建立第一层的数学模型;然后利用巴氏系数、滤波器噪声与跟踪结果之间的关系,自适应地调整跟踪结果,得到目标的位置;最后对目标核函数直方图中的每个非零元素进行第二层滤波,通过动态变化的滤波残差和巴氏系数,实时调整更新滤波器中的各项参数,得到滤波后的目标模板。实验表明,该文算法与Mean Shift算法和单层卡尔曼滤波算法相比,在目标遮挡、光照变化和复杂环境下的跟踪效果更好。 相似文献
170.
以浙江省某制革厂为研究实例,对污水处理现场A/O系统运行状况进行了连续监测,同时,模拟现场A/O系统运行参数做了脱氮小试实验.实验结果显示,更换活性污泥后,仍使用现有的A/O处理工艺,在停留时间为3d的情况下,CODCr和NH3-N的去除率能够分别达到87%和97%,且十分稳定,小试的实验结果为现场工程的下一步改造提供了可靠的依据. 相似文献