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本文研究了预亚胺化温度、时间以及刻蚀时间对聚酰亚胺湿法刻蚀结果的影响。预亚胺化后 2.5 μm厚的PI-5型聚酰亚胺采用EPG 533型光刻胶作为掩膜时,预亚胺化采用90℃/5 min - 140℃/10 min方案,采用1% KOH溶液,15 s的显影/刻蚀时间会得到较好的刻蚀结果。在此基础上,通过实验研究了一种低成本的填充式平坦化技术。通过在底层线圈上旋涂一层聚酰亚胺,湿法刻蚀去除铜线上的聚酰亚胺保留间隙中聚酰亚胺,然后再旋涂第二层聚酰亚胺的方式,完成了第二层聚酰亚胺的平坦化。与直接在底层线圈上旋涂聚酰亚胺而不做平坦化处理比较,起伏高度差从1.8 μm降低到150 nm,且起伏缓慢、无明显台阶。应用这种技术制备了一种采用线圈铁芯结构的微型磁通门传感器并进行了测试,传感器工作正常,性能优良。 相似文献
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钨对18Cr2Ni4WA钢相变,组织和性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用18Cr2Ni4WA和20Cr2Ni4A两种CrNi钢在成分、组织和性能上的差异,分析讨论了W对18Cr2Ni4WA钢相变、组织和性能的影响结果表明,W显著抑制高温转变,在高温转变区等温300h也难以使其高温转变完成;W对中温转变的影响不像对高温转变影响那么显著,但使粒状组织转变右移,从而影响粒状贝氏体和粒状组织的相对量,并影响MA岛尺寸和M岛及A岛的权重,增加残余奥氏体的稳定性和组织遗传倾向,从而影响其力学性能和工艺性能 相似文献
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结构吸波材料的设计与性能预报 总被引:7,自引:0,他引:7
雷达吸波材料的吸波性能通常以吸波材料对电磁波的功率反射系数来表示.功率反射系数是各层的厚度、磁导率和介电常数的函数.本文选用多变量函数的搜索方法,利用Hooke-Jeeves算法由C^ 编译器依据传输线理论编制了优化设计程序,对所选用吸波剂MnO和ZnO铁氧体材料进行了计算,并掺入适量的Fe3O4控制自然共振吸收频率,利用共振机理,实现了在较大程度上展宽频带。同时将利用Lichtenecher公式计算出的各个吸收剂成分用环氧树脂作粘结剂,复合成吸波材料,进行了吸波性能测试。结果发现,随着环氧树脂成分的增加,复合材料的电磁参数呈现降低趋势,因而在复合过程中合理地控制环氧树脂的成分,可以得到各层复合材料所需要的电磁参数。 相似文献
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非平衡晶界偏聚的临界时间问题研究 总被引:1,自引:0,他引:1
以近期建立起来的非平衡晶界偏聚模型为基础,介绍了非平衡晶界偏聚动力学理论。该理论引入了临界时间概念,将等温过程中溶质原子的非平衡晶界偏聚动力学过程分为偏聚过程与反偏聚过程。对等温过程中的临界时间公式进行了理论分析与实验验证,证实了临界时间公式用于预测溶质原子非平衡晶界偏聚量达到极大值的恒温时间的准确性。并且研究了等温过程中的临界时间与连续冷却过程中的有效时间之间的区别和联系,将连续冷却过程等效为恒温过程,利用恒温动力学方程计算连续冷却过程中溶质原子的偏聚量。 相似文献
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通过对金属韧性断裂的裂尖物理图象分析,提出了一种新的韧性启裂模型,在此基础上,结合钝化裂纹顶端的应力分布,导出了金属断裂韧性,拉伸性能以及伸张区宽度之间的关系,并得到了实验的验证。 相似文献
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