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蓝宝石衬底片化学机械抛光的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了提高蓝宝石化学机械抛光(CMP)效果,对其抛光工艺进行了研究。采用SiO2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光,分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓度,结果表明,采用80nm大粒径、高浓度的SiO2磨料,既可以保证抛光速率,又能得到良好的表面状;当pH值在10~12时,可加速蓝宝石在碱性条件下的化学反应速率,从而提高抛光速率;在30℃时,能较好地平衡化学作用与机械作用,获得平滑表面;加入适量添加剂,可增大反应产物的体积,易于提高机械作用的效果,以获得较高的去除速率。 相似文献
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采用一种改进的基4 BOOTH编码和华莱士树的方案,设计了应用于数字音频广播(DAB)SOC中的FFT单元的24×24位符号定点并行乘法器.通过对部分积的符号扩展、(k:2)压缩器、连线方式和最终加法器分割算法的优化设计,可以在18.81 ns内完成一次乘法运算.使用FPGA进行验证,并采用chartered 0.35 μm COMS工艺进行标准单元实现,工作在50MHz,最大延时为18.81 ns,面积为14 329.74门,功耗为24.69 mW.在相同工艺条件下,将这种乘法器与其它方案进行比较,结果表明这种结构是有效的. 相似文献
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主要设计了一种用于角度传感器系统中的仪表放大器。为了满足角度传感器系统中对信号频率的要求,需要仪表放大器的带宽足够宽能够达到3.3 MHz。该电路采用标准三运算放大器结构电路,以折叠共源共栅结构的放大器为基础,对共模信号进行抑制,对差分信号进行放大,提高了放大器的精度,增大了仪表放大器的带宽。采用Chartered 0.35μm CMOS双栅工艺对电路进行仿真和流片验证,测试结果表明:在0.8~2.85 V内,仪表放大器的共模抑制比达到了102 dB,带宽能够达到3.3 MHz,输出摆幅为1.7 V,电路功能良好,达到了设计要求,该电路可用于汽车电子以及医疗设备系统。 相似文献
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金属消雷器在云南的运行取得了良好的实效。为探索消雷机理用体积电荷雷云进行了模拟试验。结果表明,消散电流对雷云净起电电流的削减将减缓雷云电压的上升速度并减低雷云电压数值,从而实现消雷。雷云参数及其与消雷器的相对位置对消雷效果也有很大影响。 相似文献
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云州水库混凝土防渗墙观测仪器埋设新技术 总被引:1,自引:0,他引:1
混凝土防渗墙内埋设观测仪器是难度较大的工作,北京市水利工程基础处理总队针对目前国内较普遍使用的挂布法和JK法的缺点和不足,研制了活动支杆扩张器法。该仪器制作简单,操作方便,在河北省云州水库地下防渗墙埋设中成功率达100%。 相似文献