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介绍了Ar/CHF3反应离子束刻蚀和离子束入射角对图形侧壁陡直度及刻蚀选择比的影响。使用紫外曝光技术在SiO2基片上获得光刻胶掩模图形,采用Ar CHF3来刻蚀石英基片,调节二者的流量配比,混合后通入离子源。在Ar和CHF3的流量比为1∶2,总压强为2×10-2Pa,离子束流能量为450 eV,束流为80 mA,加速电压220 V~240 V,离子束入射角15°并旋转样品台的情况下,刻蚀20 min后,得到光栅剖面倾角陡直度为80°~90°。同时发现,添加CHF3后,提高了SiO2的刻蚀速率和刻蚀SiO2与光刻胶的选择比,最高可达7∶1。 相似文献
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目前,智能手机的普及带来了一些新的问题和投诉。主要是用户终端的功能更多更复杂,以致用户自己设置或骚扰电话拦截软件设置,都可能造成用户被叫失败或异常。本文分析了产生此类问题的根源,描述了信令流程跟踪分析的过程。及时解决用户的投诉,能提高用户对网络质量的满意度。 相似文献
83.
84.
如今,很多上班族和学生将共享单车作为出行的首选工具。每一辆单车都配有一个智能锁,通过运营商的无线网络,连接到单车企业的系统平台。数以千万计的共享单车为市民出行带来了便利,也给通信网络的性能监控和运营带来了新的挑战。文章旨在通过对共享单车应用的系统架构、业务机制进行研究,对行业终端(智能锁)的通信行为进行分析,掌握共享单车的解锁、闭锁流程,提炼出业务流程中的网络行为模型,并建立针对应用的网络性能指标体系,最终利用自动化的大数据分析平台,开发出一套行之有效的业务监测系统。 相似文献
85.
以联苯二甲酸为原料,经氯化亚砜酰化合成联苯二甲酸氯,再与二苯醚缩聚,合成聚联苯醚酮酮.用IR,DTA,TGA等对聚联苯醚酮酮进行表征.结果表明,合成的聚合物玻璃化转变温度(Tg)为244℃,热分解5%的温度(Td)为357℃,是一种热稳定性很高的高分子聚合材料. 相似文献
86.
近几年来,随着我国环保工作的大力发展和人们的生态保护意识不断增强,生态环境得到明显改善,与此同时,鸟类的繁衍和活动更加频繁,这极大地威胁到架空输电线路的稳定运行。文章针对内蒙古河套地区的架空线路进行剖析,研究鸟害发生的特点及规律,得出具体防鸟害思路,并对现有的防鸟措施进行利弊分析,以增强防鸟害效果,促进输电线路的防鸟害措施积极推进。 相似文献
87.
对于蒸汽发生器传热管破裂事故,现有的分析主要是计算对于环境的释放量,并分析至一、二回路压力平衡,而未对冷却至安全停堆状态进行研究。SGTR长期分析采用CATHARE程序以原有瞬态分析为基础,将分析拓展至安全停堆状态,并额外地考虑丧失厂外电和一些非安全级系统不可用情况下的事故处理策略。分析结果表明:对于我国的CPR1000系列堆型,与SGTR短期阶段不同,在事故长期阶段的分析中对事故的缓解必须考虑非安全级系统或设备的投入,这就与设计基准事故分析的保守性要求不符。本文为此对我国CPR1000系列核电厂提出管理建议。 相似文献
88.
提出了具有n埋层PSOI(部分SOI)结构的射频功率LDMOS器件.射频功率LDMOS的寄生电容直接影响器件的输出特性.具有n埋层结构的PSOI射频LDMOS,其Ⅰ层下的耗尽层宽度增大,输出电容减小,漏至衬底的结电容比常规LDMOS和PSOI LDMOS分别降低39.1%和26.5%.1dB压缩点处的输出功率以及功率增益比PSOI LDMOS分别提高62%和11.6%,附加功率效率从34.1%增加到37.3%.该结构器件的耐压比体硅LDMOS提高了14%. 相似文献
89.
90.
为了行之有效地贯彻党的十九大精神,落实习近平总书记关于山东省实施乡村振兴战略的重要指示,牢固树立新的发展观念,把山东诸城市城乡建设成宜居的绿色家园,本文提出了促进城乡污水处理一体化及村镇污水治理一系列具体措施,仅供市政府有关部门及城乡村镇做规划时参考,也可供类似诸城市的市、县、镇、村参考。 相似文献