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高功率脉冲磁控溅射技术虽能实现提高镀料离化率以增强镀层力学性能的设计初衷,但其极低的沉积速率降低了工作效率,阻碍了该技术产业化的成功推广。因此,期望在达到镀料高离化率的同时,兼顾高速沉积是本研究的主要目的,为此本文提出一种创新性的研究思路,利用自主研发的双级脉冲电场,通过分别调控两个脉冲阶段的电场参量引发阴极靶面气体放电由辉光向弧光转变,借助弧光放电产生的高密度等离子体,增强靶面氩离子的碰撞动能和金属靶材产生的焦耳热,诱发镀料以高离化率、高产额的热发射方式脱离靶材。实验结果表明:在持续提高铜靶和钛靶的靶电流密度时,阴极靶材与阳极腔体间的伏安特性会由正比例的递增关系转变为反比例的递减关系,这说明气体放电会由辉光放电向弧光放电转变,并以此诱发镀料由碰撞溅射脱靶转变为溅射+热发射脱靶。实验以钛靶作为研究对象,采用双级脉冲电场在提高钛靶电流密度时,靶面形貌由具有阶梯状直线条纹的多边形凹坑结构转变为具有直线条纹的多边形凹坑和水流波纹状的圆形凹坑的混合结构,说明此时靶面镀料的脱靶方式除典型的碰撞溅射外,已逐渐向碰撞溅射加热发射双重脱靶方式转变,镀层的沉积速率也由6 nm/min大幅增大至26 nm/min。 相似文献
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循环流化床锅炉近几年来在我国得到了快速的发展,积累了丰富的设计、运行经验。但是目前循环流化床锅炉运行中存在的问题还比较多,影响锅炉的安全、经济运行。现归纳、总结了耐火防磨层材料种类和对循环流化床锅炉的适应性;循环流化床锅炉燃烧系统各部位的运行工况及对耐火防磨层材料的选择;耐火防磨层运行中的主要问题及预防措施。 相似文献
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在当前薄膜制备技术中,电弧离子镀因靶材表面发生电弧放电局部熔融,导致沉积粒子中夹杂微米尺度高温颗粒,引发薄膜表面粗糙和基体高温损伤;直流磁控溅射因辉光放电产生的等离子体碰撞溅射靶材表面,导致溅射出的粒子离化率低,引起薄膜厚度不均和组织疏松.为解决以上问题,依据气体放电等离子体物理学知识,采用新型阶梯式双级脉冲电场诱发阴... 相似文献
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分别从采暖、供生活热水、空调、通风等方面介绍了北京朗琴因小区暖通空调工程设计,特别对采暖、供生活热水设计方案进行了详细的比较。 相似文献
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纳米掺杂Al2O3/ZrO2等离子喷涂涂层的组织及性能 总被引:1,自引:0,他引:1
利用自行研制的纳米掺杂AZ-20热喷涂粉末,采用大气等离子喷涂技术,在35号钢基体上制备A12O3/ZrO2复合材料热障涂层,对涂层的组织结构及性能进行分析。结果表明:制备的涂层是由四方结构的t'=ZrO2与六方结构的α-A12O3构成的,具有纳米晶与微米晶混晶组织;涂层孔隙率为11.2%,孔隙尺度较均匀:涂层硬度HV100为702,抗磨损能力较常规AZ-20涂层高约25%:涂层具有良好的隔热性能。 相似文献
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纳米掺杂对Al_2O_3+13% TiO_2等离子喷涂涂层耐蚀性能的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
利用大气等离子喷涂技术(APS),在45号钢基体上制备纳米掺杂5%~30%Al2O3+13%TiO2(质量分数)涂层,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等技术手段测定涂层组织结构及密度、孔隙度、通孔率等性能,在80℃、10%H2SO4溶液中对涂层进行浸蚀实验.结果表明,纳米掺杂提高了涂层在酸性介质中的鼓泡时间,而涂层从鼓泡到脱落所需时间与纳米含量无关.这是由于纳米掺杂使涂层密度提高,开孔率、通孔率降低,组织均匀性提高所致.建立了热喷涂涂层毛细管腐蚀模型,解释了纳米掺杂量对涂层失效的影响机理. 相似文献
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利用大气等离子喷涂技术(APS),在7.5 m螺杆泵螺杆基体表面上制备纳米掺杂30%AT13(Al2O3 13% TiO2)陶瓷涂层,采用Philips XL-30型扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)和Philips X-port型X射线衍射仪(XRD)等现代分析手段对纳米掺杂AT13等离子喷涂粉末及螺杆表面等离子喷涂涂层的显微组织、物相进行了观察测定.结果表明:纳米掺杂等离子喷涂粉末结构呈微米级粒子表面包覆纳米粒子的麻团状,尺寸在50~70 μm内,流动性好,适用于大气等离子喷涂.纳米掺杂使等离子喷涂涂层元素分布均匀性提高,孔隙度降低,涂层内出现(Al2O3)5.333与斜方晶态的Al2TiO5物相.涂层断口分析证明:在纳米掺杂30%的涂层中,出现大量直径约为10 nm的蠕虫状晶须,断裂方式变为韧性的穿晶断裂,为纳米掺杂螺杆使用寿命成倍的提高提供了理论依据. 相似文献