动态随机存储器栅极侧壁硅化钨残留的去除工艺

动态随机存储器栅极侧壁硅化钨残留造成的短路成为制约提高产品良率及可靠性的瓶颈.为此,采用X射线荧光光谱（XRF）、扫描电镜（SEM）等检测分析手段优化硅/钨原子组成比为2.45.透射电镜（TEM）及电性参数测试结果表明,经30s、1000℃快速热处理可获得方块阻值为12Ω/cm^2的硅化钨,且可刻蚀性能好.在硅化钨刻蚀前利用电子束扫描发现,15min的氢氟酸和10min浓硫酸与过氧化氢混合溶液（SPM）在300W超声波条件下的新湿法清洗工艺,能去除84.7%的表面微粒及残留聚合物.整合上述优化工艺可以将硅化钨残留造成的65nm动态随机存储器芯片失效率由31.3%降到1.9%,为研究下一代产品提供有效借鉴.     

桥式起重机机械故障分析与预防

通过对桥式起重机在日常运行中容易出现的各种装置的机械故障进行了分析,提出了预防此类机械故障的措施。     

抗磨蚀材料失效过程的微观特性

用光学显微镜、扫描电镜、电子探针和X射线衍射,对抗汽蚀较优的硼不锈钢堆焊层和抗磨蚀较优的碳化钨陶瓷堆焊层的原样、汽蚀后样和磨蚀后样进行了微观分析研究。结果表明,硼不锈钢堆焊层是较好的抗汽蚀材料,但抗磨蚀效果不理想;碳化钨对磨蚀损坏有良好的屏障作用;磨蚀坑是气泡溃灭产生的脉冲式法向负压力和脉冲式泥沙冲击切向分力联合作用的结果。     

抗磨损抗腐蚀材料的新进展

本文综述抗磨损抗腐蚀新材料产品和制作工艺的某些新发展,重点论述制取抗磨损抗腐蚀野状陶瓷复合材料的等离子喷焊、喷涂法、氧乙炔喷焊法和自蔓延燃烧反应合成法,高能量密度束流熔涂制取金属基陶瓷复材的工艺和产品开发情况,简述了制取超硬面层金刚石与金属复合的高压反应合成法和等离子化学气相沉积法,也论述了电化学方法制取表层陶瓷的微弧氧化法和制取钢铁基钛铝表层抗蚀复材的熔盐电沉积研究进展。对真空浸渍和热喷涂法制取塑料和金属复材的工艺和产品作了简要论述。     

水轮机抗磨蚀金属材料的优化设计

对抗磨蚀金属材料的基础研究表明,在10种常用结构材料的金属中,以钨、钴、铬的抗气蚀性最佳;生产应用研究结果表明,钨系材料中的火焰喷焊WC-M硬面陶瓷材料,铬系材料中的电镀稀土铬硬面材料,钴系材料中的等离子喷焊CoCrWC硬面材料,都是抗磨蚀性能较优,成本较低,并可进入工业应用的水轮机抗磨蚀结构材料。     

等离子喷涂陶瓷复材的性能和应用及其发展

综述了等离子喷涂陶瓷涂层在克服金属零件失效方面所发挥的重要作用。把发生在材料表面的磨损按实际情况区分为典型的六大类,工件实施等离子喷涂陶瓷涂层后,具体的实验、生产中得来的数据表明等离子喷涂陶瓷涂层后材料表面抗磨损能力均显著提高。由于材料表面采用等离子喷涂抗腐蚀的陶瓷涂层覆盖在金属基体上,从而屏障了外界腐蚀性物质对金属基体的浸蚀,从而提高了材料的抗腐蚀能力。实验数据说明了通过对涂层进行封闭处理或激光重熔,可大大减少涂层中的气孔率,从而提高耐腐蚀性。探讨了适用于高温条件下的陶瓷涂层所应有的良好性能,并分析了三种典型应用于高温环境下的陶瓷涂层。最后,提出了等离子喷涂陶瓷涂层的发展方向及现行阶段所急需解决的问题。     

葡萄酒冷冻工艺及设备的发展

葡萄酒发酵结束之后，必须经过一个时期的贮存，在这个过程中，酒要经过一系列物理、化学和生化的变化，酒的色、香、味逐渐提高，稳定性逐渐加强，这一过程的延续时间取决于该酒的商品化定位以及所用葡萄原料的品种、年份和酿造的工艺，设备条件等。在市场上我们品尝到的...     

浅谈油田电视新闻宣传在企业文化建设中的作用

企业文化是企业生存与发展的灵魂,是企业核心竞争力的重要内容。在企业文化的建设中,企业电视新闻宣传起着举足轻重的作用,它如实地记录着企业的发展历程,集中展示了企业的精神,潜移默化营造了健康向上的文化氛围,并持续构筑着企业的文化品牌。     

基于原子层淀积Al2O3及多层TiN结构的MIS电容早期失效研究及工艺优化

研究采用化学气相沉积多层TiN薄膜、原子层沉积Al2O3及半球型晶粒多晶硅制备金属－绝缘体－硅结构的电容器。并研究了沉积工艺及后处理对金属－绝缘体－硅电容器的TDDB(时间相关电介质击穿)性能的影响。通过优化前驱物为Al(CH3)3和O3的原子层淀积工艺制备得到Al2O3薄膜,利用俄歇电子能谱分析没有发现碳残留,且二次离子质谱分析结果表明氢含量可降低至约9 1019atoms/cm3。电容器上极板是利用反应物为TiCL4和NH3的化学气相沉积制备的多层结构TiN, 且每层TiN薄膜经过120秒的氨气氛后处理。因多层结构TiN可获得更薄的非晶态层从而成为更好的扩散阻碍层,能有效地阻碍杂质元素扩散到Al2O3导致其介电性能退化。X射线色散谱分析结果表明,该电容器的TiN薄膜中未发现氯残留。该电容器工作电压区间的漏电流低于1 10-12 A/cm2。在与时间相关的加压加温可靠性测试条件下无早期失效现象。该新型电容器因其更低杂质成分从而有着优良的可靠性,可应用到先进的动态随机存储器技术。     

带有滑模观测器的永磁同步电机改进型PID控制

针对传统滑模观测器的抖振现象严重、估计精度低等问题,提出了一种带有二阶滑模观测器的内嵌式永磁同步电机改进型PID控制方案。根据Super twisting algorithm设计了二阶滑模观测器,取消了传统滑模观测器方案中的低通滤波器与位置补偿环节,有效抑制了滑模抖振,提高了估计精度。为了进一步改善系统的动态性能,基于牛顿插值法构造了一种具有滤波功能的离散微分器并利用三点离散微分器代替传统微分设计了转速环改进型PID控制器。仿真验证了该方案能够有效抑制抖振现象,估计精度高,稳态性能与动态性能较好。