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931.
化学机械抛光是晶片全局平坦化的关键技术,其中终点检测系统是影响抛光效果的关键。如果不能有效地检测抛光过程,便无法避免硅片产生抛光过度或抛光不足的缺陷。基于光学干涉薄膜测厚原理,给出了一种CMP在线终点检测装置。 相似文献
932.
933.
国内首台m交流变频电驱动橇装钻机——ZJDB型钻机在南阳石油机械厂研制成功 并发往大庆油田进行钻探作业。 ZJDB型钻机是南阳石油机械厂结合我国油区特点自行研制的一种新型轻便钻井设备 其额定钻井深度m 适用于m以内油气水井及小井眼的钻探作业。钻机采用橇装模块结构 道路条件允许时 主机不用拆卸即可用台拖车装运;长途运输时 则可拆分成个模块 用台车装运。钻机钻台底座为雪橇型式 在近距离移至新井位时 可进行整拖。井架高m 为前开口直立式 三节套装 其上体中体可收回 缩短了钻机运输长 《石油机械》2000,28(4):45
国内首台 1 0 0 0m交流变频电驱动橇装钻机———ZJ1 0DB型钻机在南阳石油机械厂研制成功 ,并发往大庆油田进行钻探作业。ZJ1 0DB型钻机是南阳石油机械厂结合我国油区特点自行研制的一种新型轻便钻井设备 ,其额定钻井深度 1 0 0 0m ,适用于 1 0 0 0m以内油、气、水井及小井眼的钻探作业。钻机采用橇装模块结构 ,道路条件允许时 ,主机不用拆卸即可用 1台拖车装运 ;长途运输时 ,则可拆分成 3个模块 ,用 3台车装运。钻机钻台底座为雪橇型式 ,在近距离移至新井位时 ,可进行整拖。井架高 2 9m ,为前开口直立式 ,三节套装 ,其上体、中… 相似文献
934.
以IC1000/Suba IV抛光垫为例,综述了影响抛光垫性能的各种因素,以文献相关数据为依据,着重分析了抛光温度和修整力对抛光垫性能的影响。从分析结果可以得出:IC1000/Suba IV比单层结构IC1000具有更好的抛光效果;新旧抛光垫性能在0~40°C基本相当;新、旧和没有黏合剂抛光垫的正常工作温度为-2.02~103.64°C,且玻璃过渡温度随着抛光垫厚度的减小而增加;抛光垫在0~50°C具有最小的外形变化。定性得出修整力与抛光精度成反比关系,明确了较小修整深度具备较好的平坦化效果。 相似文献
935.
合成孔径雷达图像舰船目标检测与分析 总被引:3,自引:0,他引:3
舰船检测是合成孔径雷达图像海洋应用的一个重要部分。本文设计了舰船检测步骤,给出了SAR图像舰船形状分析的方法,对于舰船目标进行自动检测并计算出舰船参数,通过实验验证目标的检测与分析是有效的。 相似文献
936.
分布式空时编码系统中,由于各个中继节点之间的传输不同步会造成分布式空时编码的性能损失。针对这一问题,该文设计了一种异步分布式线性卷积空时编码。通过一种具有特殊结构的生成矩阵的设计,该编码可以在多径信道和中继节点异步传输模型下获得满分集增益。另外,由于该编码的线性特性,因而可以使用迫零(ZF), 最小均方误差(MMSE)以及基于最小均方误差的判决反馈(MMSE-DFE)检测器检测。理论分析和仿真结果均表明,该文提出的异步分布式线性卷积空时编码可以在没有同步传输的假设下,采用次最优检测器来获得满分集增益。 相似文献
937.
地球同步轨道寄生SAR系统是利用地球同步轨道卫星传输的通信、导航等信号作为非合作照射源的一种双基地雷达系统,具有长时间观测目标区域、抗电子干扰、成本低等优势,有良好的发展前景.本文针对地球同步轨道寄生SAR系统发射源信号为连续随机信号且卫星航迹精确位置未知的特点,分析了脉冲重复周期和信号加窗长度的选取,研究了信号加窗后的满带宽、距离向信杂比问题以及卫星航迹的精确反演.最后,根据上述关键技术的研究分析,仿真实现了地球同步轨道寄生SAR系统成像. 相似文献
938.
Abstract: Back-illuminated AlxGal-xN-based dual-band solar-blind ultraviolet (UV) photodetectors (PDs) are realized by a three-terminal n-i-p-i-n heterojunction structure which is grown on sapphire substrate by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). The two p-i-n junctions contained in the heterojunction structure can work separately and independently. Working in the photovoltaic mode, the PDs display peak responsivity of ~10.8 mA/W at 242 nm and ~5.0 mA/W at 257 nm, respectively. The two junctions with different size, whose diameters are 500 μm and 800 μm, exhibit almost the same leakage current of ~1.3× 10-9 A at a reverse bias of 10 V. Therefore, dark current densities of the two junctions are close to 6.6 × 10-7 A/cm2 and 2.6 × 10-7 A/cm2 at -10 V respectively. 相似文献
939.
碲锌镉(CZT,CdZnTe)晶片是生长红外焦平面列阵所用碲镉汞(HgCdTe)薄膜的衬底材料.为了满足碲镉汞液相外延的性能要求,采用化学机械抛光可获得平面度高、粗糙度低、无损伤层的碲锌镉晶片表面。通过对抛光结构的机械运动分析,建立了抛光过程中各参数对工艺指标的影响,通过实验优化工艺参数获得高质量的抛光效果。 相似文献
940.