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11.
12.
MEMS亟待解决的七个问题 总被引:2,自引:0,他引:2
针对MEMS产品步入市场所面临的问题,总结出MEMS亟待解决的粘着、静电力计算、微流、纳米摩擦、检测、薄膜应力和表面粗糙度七个问题;并对粘着、静电力算、微流和检测计4个问题,分别提出W-S模型微观连续介质理论、电荷分布积分法、当量粘度系数修正法和SPM法4种解决方法,为MEMS的进一步研究提供理论基础. 相似文献
13.
原子力显微镜"突跳"研究 总被引:1,自引:0,他引:1
“突跳”现象严重影响着原子力显微镜(AFM)的性能.根据Hamaker微观连续介质理论,建立了AFM针尖同试样面接触力包含斥力的数学模型;分析了AFM悬臂梁弹性力同针尖接触力的关系,发现了引起AFM“突跳”的本质是弹性力同接触力的不稳定平衡问题;通过增加AFM悬臂梁刚度,提出了一种避免“突跳”现象发生的方法,并给出了仿真结果。 相似文献
14.
基于滑流修正的气体压膜雷诺方程,分析了矩形截面电容式微加速度计的敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼;指出了质量块受到的气膜阻尼力不仅与尺寸和速度有关,还与动量协调系数有关;得到了阻尼力和阻尼系数的简化解析解. 相似文献
15.
微机械纳米接触原子层数的连续方法研究 总被引:1,自引:1,他引:1
为解决微机械中“微碰撞”、“纳米接触”问题 ,建立了纳米接触的刚性球 -面模型。根据 Ham aker三个假设和L ennard- Jones势 ,利用连续方法推导出球同平面第一和第 N层原子之间的作用力表达式 ,仿真出粘着力同原子层之间的关系 ,得出影响纳米接触的主要原子为接触区域少数几层原子的结论 ,从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础 相似文献
16.
17.
18.
MEMS薄膜应力研究 总被引:6,自引:0,他引:6
针对微电子机械悬臂梁废品率高的问题,从悬臂梁的加工工艺,分析了在不同工作状态,薄膜应力对悬臂梁的刚度影响;建立了薄膜应力的数学模型;通过仿真发现,在悬臂梁的某些加工温差段,悬臂梁的刚度出现奇异值,变形已不再满足小变形条件的现象;得出某些加工温差段的薄膜应力是导致悬臂梁产生废品因素之一的结论. 相似文献
19.
20.
MEMS粘附问题研究 总被引:2,自引:0,他引:2
针对MEMS粘附现象,论述了有关粘附问题的研究现状,揭示了粘附的本质和研究范围,介绍了目前研究粘附问题所用的分子动力学、连续介质法、准连续介质法、蒙特卡罗法及纳米压痕法和悬臂梁法等各种计算和实验的前沿方法,并对粘附研究的发展提出了初步展望. 相似文献