φ1mm电磁型微电机定子绕组研制

本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发1 mm电磁型微电机定子绕组的制备工艺。采用高 -高比光刻技术和掩模电镀工艺 ,解决了高 -高宽比线圈的制备工艺 ,有效地降低了线圈的直流电阻 ,另外用 Al2 O3薄膜溅射工艺解决了线圈层间的绝缘 ,并且提高了线圈的抗发热等级。本研究结果为 4层 2 8圈 3对 9组绕组系统。微电机定子绕组直径为 1 mm,最小线间距为 1 μm,最大工作电流可达 1 80 m A,单相直流电阻在 1 0— 2 0Ω之间。     

多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究

准LIGA加工工艺通常只能加工单层准三维体。本研究采用SU-8胶准LIGA技术，解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题，加工出了三维五层一体化复杂结构。实践证明，所提出的工艺实际可行，进一步拓展了准LIGA工艺的应用。     

新型悬空结构射频微电感的制作与测试

利用MEMS(Micro Electro-Mechanical System:微机电系统)工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容,且其高频性能较好。并对此结构微电感的性能进行了测试,测试频率范围在0.05~10 GHz之间,结果表明:当悬空结构微电感的悬空高度为20 靘,工作频率在3~5 GHz范围内时,其电感量达到4 nH,其Q值最大可达到22。     

基于MEMS技术的三明治型电磁式微振动能量采集器

本文中设计了一种结构新颖的三明治型电磁式微振动能量采集器,主要包括上线圈、下线圈和由永磁体与硅基平面镍弹簧构成的拾振系统.上、下线圈的对称性分布有利于充分利用永磁体周围的磁场从而提高整个器件的机械能-电能转换效率.实验样机主要采用MEMS微加工技术制作,其中的硅基平面镍弹簧采用体硅微加工和微电镀技术制作,双层铜线圈采用微电镀和聚酰亚胺绝缘层技术制作.实验样机的体积约为0.32 cm3.振动特性测试表明,在外界加速度小于8 m/s2时,永磁体振幅随着加速度的增加而增加,在加速度大于8 m/s2以后,振幅几乎不再增加,出现饱和现象.电学特性测试表明,在8 m/s2加速度作用下,单线圈和串联线圈产生的感应电压峰峰值分别为82.5 mV和125 mV,因此,三明治结构的新型设计使得输出电压增加了51.5%.另外,在加速度为8 m/s2、频率为280.9 Hz的外界振动激励下,实验样机产生的最大负载电压和最大负载功率分别为125 mV和13.2μW.     

影碟机市场广阔 百科类VCD前景看好

任何一种新产品从投入市场到退出市场,均经历一下几个阶段:即导入阶段、成长阶段、成熟阶段和衰退阶段,影碟机也不外于此。 导入阶段:新产品第一次投入市场,用户接受度低,销售速度通常是十分缓慢,需求正随着各种分销渠道创立,逐渐增长。由于此时期没有规模效益,所以成本较高,加上需要投入较大的促销费用,一般厂家获利微薄和难以打入市场。     

高性能螺线管微电感的制作

利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1.82nH.     

近邻软磁层偏置磁阻磁头结构参数设计的数学模型

概述了软磁层偏置磁阻磁头的工作原理和特点 ,采用传输线模型对其工作点的选取和结构参数进行了初步设计 ,与实验结果符合较好     

基于Linux的电子商务实现平台

Ｌｉｎｕｘ作为免费软件问世以来,已经成长为一极具活力的、健壮的操作系统。它为企业开展电子商务提供强力有的支持。本文构造了一种基于Ｌｉｎｕｘ的电子商务实现平台,企业可以在此平台上快速实现自己的电子商务系统。     

湿法磷酸预处理工艺优化

提出一种湿法磷酸预处理的工艺优化方案,分别对脱砷、脱铅与脱氟引入二级过滤流程,使磷的回收更加充分,磷收率较其他湿法磷酸预处理类的工艺提高2～3百分点;同时将二级过滤回收的磷酸送磷矿石浮选工序作酸碱调节剂,实现了磷资源的综合利用.     

补钙新技术在磷酸氢钙生产中的应用

针对饲料级磷酸氢钙产品生产过程中补钙难的问题,提出了一种新的补钙方法,既降低了生产成本,又提高了磷酸氢钙产品品质,同时在运用过程中取得了较好的经济效益。