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据《国际半导体》杂志（英文）1995年第8期报道，索尼公司已开发成功一种能用于0．18μml艺的光刻技术。在最近几年，为了大规模高密度单芯片器件和ASIC生产的需要，各种数字和多功能的设备大大增强。这就引起光刻技术向缩短爆光波长，即光源从目前的i线向KrF激光的转变。与此同时，也在用斜掩模照射光和相移技术来改善微细光刻的精度。然而，常规的斜照射光方法照在掩模版上可以增加微细图形的焦深。这意味着对低密度图形的曝光是不充分的。另一方面，一种不用斜照射光但结合了分布照射光和相移掩模的技术，需在目标掩模图形的相邻点建… 相似文献
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简略介绍了热塑性聚氨酯弹性体的加工方法、加工工艺及其应用领域。对热塑性聚氨酯制品的缺陷和产生的原因进行了分析，并提出了一些可能解决的办法。 相似文献
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连续波掺钛蓝宝石激光器的全波段可调谐振荡日本昭和光子公司开发连续波掺钛蓝宝石的全波长可变区（６６３～１０９０ｕｒｎ）的宽带、低损耗反射镜，并与理化学研究所光动力学研究中心共同研究，仅用一组这种反射镜在世界首次实现掺钛蓝宝石激光器的全波段振荡。它打破了... 相似文献
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赵文杰 《中国铸造装备与技术》1987,(1)
文中介绍了作者在LXB1000型立式离心浇铸机(厂定型号)的设计和试验中的体会,并对立式离心浇铸机主要参数和结构设计进行了探讨。 相似文献
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