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21.
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术.该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27n m CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造. 相似文献
22.
研究优化水声通信效果问题,改善水声信道性能,传统常数模盲均衡算法(CMA)的稳健性差,剩余均方误差大。为解决上述问题,提出了一种改进的分数间隔常数模盲均衡算法。新算法采用T/2分数间隔均衡器,针对水声通信中信噪比较低的特点,设计了一个新的误差函数,取代原算法中的误差函数。采用浅海水声信道对改进算法进行了计算机仿真,结果表明:改进算法在低信噪比条件下性能稳健,稳态误差低于常数模算法和分数间隔常数模算法,且具有较快的收敛速度。改进算法适用于信噪比较低的浅海水声信道。 相似文献
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本文以摆动闸块式和铰接闸块式离心离合器为例,用数学和力学的方法推导出此二种离合器的最大传递扭矩计算公式,并分析了它们的自锁条件。最后通过例题说明这些公式的用法。 相似文献
25.
对水流脉动壁压的研究,不仅有助于了解水流内部的紊动结构,而且具有重要的工程应用价值.介绍了正交分解法在脉动壁压研究中的应用.通过实验获得了某消力池导墙的脉动壁压信号,并将正交分解方法引入到脉动壁压的研究中.计算结果表明脉动壁压可用正交分解进行描述,而且对其进行低阶近似颇为有效. 相似文献
26.
27.
28.
2003年10月中旬,我国对出口产品退税率作出重大调整,对国家鼓励出口产品退税率不降或少降;对一般性出口产品适当降低;对国家限制出口的产品和一些资源性产品多降或取消退税。这一政策的实施对建材行业经济运行形势及产品出口的影响到底有多大?有关人士认为,新的退税政策,对建材行业整体经济运行形势及产品出口影响不会太大,但对非金属矿行业的冲击较为严重。传统建材企业反响平淡影响较小中国建材工业协会有关人士认为,因新的退税政策实施细则还未出台,对行业整体影响很难评估,但从目前一些产品的出口形势及退税率下调的幅度看,对水泥、玻璃… 相似文献
29.
窄缝消能与碰撞消能雾化水流研究 总被引:3,自引:0,他引:3
窄缝消能是挑流消能的一种特殊形式。本文对窄缝消能的雾化水流特性进行了初步的研究,提出了窄缝消能高速挑射水流的数学模型,同时对窄缝消能的雾流源量进行了分析。此外,本文还对碰撞消能的雾化水流问题进行了初步探讨。 相似文献
30.
挑角对淹没丁坝和非淹没丁坝坝头附近床面冲淤变形的影响不同.目前的研究成果多集中于非淹没丁坝,涉及淹没丁坝的研究成果相对偏少.为了研究淹没丁坝附近床面冲淤变形对挑角的响应,对粗、细2组非均匀沙,45°、90°、135°3个挑角进行了交叉水槽试验.通过图像对冲刷坑形态进行了对比;将冲刷坑长度、宽度、最大深度、体积等特征参数试验成果进行了统计分析;将挑角对冲刷深度的影响折算成挑角因子,与前人的挑角因子及试验资料进行了对比.试验成果表明,挑角对淹没丁坝坝头附近床面冲刷坑形态、位置、尺寸均有影响,而床沙粒度则主要影响冲刷坑的尺寸. 相似文献