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通过改变偏压功率和气体气压的宏观条件,利用CHF3,Ar和H2的感应耦合等离子体(ICP)对HfO2和RZJ-306光刻胶进行了刻蚀选择性实验研究.结果表明,HfO2与等离子体化学相互作用的刻蚀产物属于非挥发性的,容易造成边墙的堆积而形成"驼峰"形,因而需要借助于Ar 的辅助轰击来消除边墙堆积,典型的HfO2/光刻胶的刻蚀选择比在0.2~0.5之间.在射频源功率400 W、气压0.5 Pa、射频偏压-400 V、流量比为Ar∶CHF3∶H2=40 sccm∶18 sccm∶2 sccm的优化条件下,利用感应耦合等离子体刻蚀特性,对光刻胶作为掩膜的HfO2/BK7玻璃进行刻蚀,扫描电镜的测试结果表明,光栅的图形转移效果较好.红外激光波长为1064 nm时,所测得的光栅二级衍射效率在71%以上. 相似文献
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Finite element analysis of contact fatigue and bending fatigue of a theoretical assembling straight bevel gear pair 总被引:1,自引:0,他引:1
The aim of this work is to propose a 3D FE model of a theoretical assembling straight bevel gear pair to analyze the contact fatigue on the tooth surface and the bending fatigue in the tooth root. Based on the cumulative fatigue criterion and the stress-life equation, the key meshing states of the gear pair were investigated for the contact fatigue and the bending fatigue. Then, the reliability of the proposed model was proved by comparing the calculation result with the simulation result. Further study was performed to analyze the variation of the contact fatigue stress and the bending fatigue stress under different loads. Furthermore, the roles of the driving pinion and the driven gear pair were evaluated in the fatigue life of the straight bevel gear pair and the main fatigue failure mode was determined for the significant gear. The results show that the fatigue failure of the driving pinion is the main fatigue failure for the straight bevel gear pair and the bending fatigue failure is the main fatigue failure for the driving pinion. 相似文献
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众包测试是软件测试领域的一种新兴趋势,具有更加可靠、成本更低和效率更快的优点。但是由于众测工人专业水平不同,提交的测试用例报告缺乏规范性,为报告的审核、缺陷的复现都增加了困难。该文提出了一种通过众测工人的操作记录自动生成文本测试用例的新方法,并实现了该测试工具。首先,对测试工人的操作进行录制从而获取录制信息,录制信息可以划分为三大模块,包含静态页面信息、动态页面信息和交互信息;其次,通过深度优先遍历算法获取组件名称、组件类型、交互动作和交互数据,并按照众测工人的实际操作步骤生成测试序列;对于测试序列中存在组件名称匹配错误的问题,通过YOLOv5目标检测和OCR文字识别技术设计了n元组生成算法,用于生成组件名称与其选项的对应关系,并对匹配错误的组件名称进行自动修改;最后,通过自定义规则集将测试序列转换为文本测试用例。该方法自动生成统一规范的测试用例,降低了众测的门槛,提高了测试效率,并且有利于众测服务平台的质量评估工作。为了验证该方法的有效性,针对不同开发技术的Web系统进行了测试,并与目前最新版本的UFT,Selenium IDE和Katalon Recorder三款工具进行了对比。实... 相似文献
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斜磁化对磁测数据的不良影响一直是困扰地质人员从事磁测工作的难题。在消除斜磁化的方面,前人采用化极方法进行处理磁测数据,但该方法在低纬度磁测环境下存在着局限性。相比之下,采用梯度张量特征值类方法进行处理磁测数据可以显现出巨大的优势,原因在于梯度张量特征值具有不受磁化倾角的影的响优越性质,能够高效地处理野外斜磁化磁测数据。基于梯度张量特征值这一优良特性进行深入研究,提出特征值模比法,该方法不仅不受磁化角度的影响,而且能够直接处理野外采集到的磁测数据,这在实际矿产生产和勘探中都有着巨大的价值和意义。 相似文献
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以煤为原料进行氢气-甲烷联产是一种具有探索性的生物发酵工艺,研究该工艺发酵过程液相产物变化和机理可实现对煤中高附加值液态产物的利用与产气效率的提高,并进一步丰富煤生物产气理论。以义马千秋矿长焰煤为研究对象,义马煤层矿井水为菌种来源,在适宜环境条件下开展联产模拟实验,并运用气相色谱法,气质联用法等对联产过程中的气体组分、中间液相产物等进行检测分析,以揭示其液相产物变化特征及其机制。结果表明:①H_2和CH_4高峰期产量分别为66.29μmol/g(第3天)和55.78μmol/g(第16天),分别占H_2与CH_4总产气量的25.78%和25.47%,反应结束后产氢、产甲烷的底物转化率分别为2.4%和4.9%;②产氢阶段的pH呈现出先增加后降低又增加的趋势,COD在反应周期内逐渐升高,在第6天时出现最大值857.82 mg/L,而OD_(600)在第4天达到最大值0.52。产甲烷阶段的COD变化趋势明显,在第15天时达到最大值873.73 mg/L,pH,OD_(600)则维持在一个相对较为稳定的范围内。pH,COD与OD_(600)的变化过程与关键有机中间液相产物的变化特征一致,液相产物的生成、降解直接地影响了pH,COD与OD_(600)的变化趋势;③产氢阶段和产甲烷阶段均有挥发性脂肪酸、直链、支链烷烃、烯烃、含氮、含氧有机物及吡嗪、嘧啶类杂环化合物积累,产氢结束后的直链烷烃、支链烷烃含量较低,分别是67.05μg/mL和21.16μg/mL,且残留有大量的丁酸、丙酸等挥发性脂肪酸(332.63μg/mL),经产氢预处理之后的煤样为产甲烷过程提供了更多的有效可利用体,且产甲烷过程在液相产物中检测到更多的直链(最高为216.63μg/mL)、支链烷烃(最高为112.28μg/mL)、含氧(最高为110.49μg/mL)、含氮大分子有机物(最高为108.65μg/mL)及环烷烃、腈类、腙类、4-甲基芴等新生有机物。联产过程的液相产物变化特征进一步反映了煤发酵联产氢气-甲烷的优越性,有可能提高煤的总体能源利用率并优化产气过程。 相似文献
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深埋巷道开挖后围岩应力重新分布,影响巷道稳定。因此分析巷道围岩二次应力分布状态对于评估围岩稳定性或设计支护参数具有重要意义。目前岩石力学相关理论中讨论了圆形巷道、椭圆形巷道和矩形巷道二次应力弹性分布特征,缺乏对六边形巷道的分析。本文从弹性力学的孔口问题为切入点,基于复变函数理论,通过保角变换将矩形、六边形巷道转化为单位圆,结合弹性力学理论建立了矩形、六边形巷道围岩分析的力学模型,并分析得到巷道围岩应力分布的解析解。将解析结果与数模拟分析结果对比可知,相同结构巷道围岩二次应力分布一致且大小基本相同,就应力集中情况而言,六边形巷道优于矩形巷道。 相似文献
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