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81.
在等离子体化学气相沉积系统(PECVD)中,使用高氢稀释硅烷(SiH4)加乙烯(C2H4)为反应气氛制备了纳米硅碳(nc-SiCx^2H)薄膜,随着(C2H4+SiH4)/H2(Xg)从5%时,由于H蚀刻效应的减弱,薄膜的晶态率从48%下降到8%,平均晶粒尺寸在3.5-10nm。当Xg≥6%时,生成薄膜为非晶硅碳(a-SiCx^2H)薄膜。nc-SiCx^2H薄膜的电学性质具有与薄膜的晶态率紧密相  相似文献   
82.
本文报告了我们首先提出的采用a-Si:H/nc-Si:H异质结作为大屏幕投景液晶光阀光敏层,向列型液晶作为液晶光阀调制层的一种新型液晶光阀。A-Si:H光导层和nc-Si:H阻光层通过辉光放电等离子体化学气相沉积法连续制得。本文研究了不同沉积条件下nc-Si:H薄膜的结构和光电性质。A-Si:H和随之沉积的nc-Si:H形成了a-Si:H/nc-Si:H异质结,本文还讨论了它的光电性质。采用a-S  相似文献   
83.
纳米硅薄膜制备技术进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   
84.
纳米硅薄膜结构特性研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
在电容式耦合等离子体化学气相沉积系统中,使用高氢稀释硅烷为反应气体制备出了晶粒尺寸为2~10nm的纳米微晶相结构的硅薄膜,使用高分辨电子显微镜(HREM),X射线衍射谱(XRD),X射线光电子能谱(XPS)和红外光谱(IR)等结构分析手段检测了其结构特征.结果表明,纳米硅薄膜的晶格结构为畸变的金刚石结构.X射线衍射谱表明除了Si(111)的2θ=28.5°和Si(220)的2θ=47.3°处的衍射峰外,在2θ=32.5°处存在着一个强的异常峰.HREM结果表明存在新的Si结晶学结构与XRD异常峰相关联.  相似文献   
85.
在等离子体化学气相沉积系统中采用高氢稀释硅烷加乙烯法制备了nc-SiCx:H薄膜。系统研究了C2H4/(C2H4+SiH4)(Xc)气体流量比对nc-SiCx:H薄膜的晶化和其它不龟性能的影响。  相似文献   
86.
为了实现对电磁机电混合实时仿真系统(supermixedreal-timesimulation,SMRT)平台实用化的正确评估,对SMRT的关键性能进行了综合测评,首先在SMRT平台上建立了南方电网2013年丰大方式计算模型案例,利用仿真误差评价指标对SMRT仿真结果、BPA仿真结果和PMU/TFR录波进行了量化比较,评估了SMRT仿真的准确性;然后在稳态和暂态过程中对SMRT平台进行了耗时测试,验证SMRT仿真的实时性;最后对SMRT平台的易用性做出客观评价。综合测评结果表明,SMRT平台具有较高的仿真可信度,平台实用化具有可行性。  相似文献   
87.
贵广二回直流输电工程在试运行过程中相继两次出现了拉合交流场隔离刀闸引起直流差动保护87DCM误动导致直流闭锁的事故,在对现场记录的暂态故障录波(TFR)和顺序事件记录(SER)进行分析的基础上,利用实时仿真系统RTDS分别采用连接直流实际控制保护系统进行故障回放和搭建全数字保护逻辑两种方式对上述事故进行重演分析,验证了保护误动的原因,并检验了新的保护程序的防误动能力和真实故障下的正确动作能力。  相似文献   
88.
基于广域自适应多直流协调控制的RTDS仿真研究   总被引:2,自引:2,他引:2  
为验证基于广域控制的自适应多回直流协调控制方案的有效性与可靠性,同时分析其对现有的直流极控系统的影响,搭建了包含10个机箱的大型交直流混合输电系统的RTDS仿真模型,对已开发完成的多回直流协调控制系统的软硬件进行测试。通过模拟实际电力系统不同的运行状态、故障情况,测试了协调控制系统保护闭锁逻辑的准确性,分析了其与现有直流保护、控制系统之间的相互影响,考核了整套装置的可靠性。对开发RTDS的功能和扩展应用范围具有极为重要的意义。  相似文献   
89.
针对2011年6月5日因行波保护动作发生的云广直流双极相继闭锁事故,运用RTDS故障仿真和录波回放等手段进行了分析.结果表明,在该事故中极Ⅱ因直流线路雷击短路故障,穗东、楚雄两站极Ⅱ行波保护正确动作;电磁耦合致极Ⅰ的直流电压、直流电流出现较大波动,逆变站极Ⅰ行波保护达到定值而动作.RTDS仿真测试得出结论,行波保护逆变站△Ⅱnv定值由-0.05改为-0.3能避免“6·5”情况下的逆变站极Ⅰ行波保护动作.  相似文献   
90.
云广直流输电工程安稳装置的RTDS试验方法研究   总被引:2,自引:1,他引:2  
云广±800kV直流输电工程采用双极4阀组配套的稳控系统,在接口信号、故障判据和切机切负荷策略等方面,均较传统直流工程使用的稳控系统更为复杂。针对该稳控系统如何进行全面试验,提出并实现了一套基于RTDS对特高压直流稳控系统进行装置测试、策略表验证和系统响应实验的方法,构建了一个基于RTDS实时仿真平台,可以对南方电网稳定控制做仿真研究,进而开发新型的大电网控制系统。  相似文献   
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