微机械在信息仪器中的应用

1.前言微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术.本文介绍带运动的信息仪器,利用微机械技术迅速发展的旧信息仪器以及新出现的信息仪器.2.带运动的信息仪器用于信息系统的仪器在具有输入输出接     

LAY-617F型紫外YAG激光加工装置

模拟——数字转换器(a．u．n)预定用于在其均匀间歇数字化和随机间歇数字化的状态下测量随机信号的形状。它可用在建立自动化的信息测量系统情况下。     

超微细加工技术的动向

随着微细加工技术的发展,可制作直径为几千微米的齿轮之类的结构部件或者将其组合成亚毫米尺寸的执行元件以及传感器,并且正在实现将其系统化的微机械.要实现微机械,不仅需要传统的机械结构材料,而且需要Si之类的包括半导体材料     

激光微细加工装置及其应用

本文介绍日本浜松光子公司研制的加工分辨率为1μm的C4540型激光微型加工装置的结构、特点、加工原理及其应用实例.研制背景因为准分子激光器在0.193μm至0.351μm波长的紫外光波段范围振荡,所以从原理上讲可以小于0.5μm的分辨率     

光并行连接的PD阵列组件

日本富士通研究所，研制出小型PD阵列组件，该组件装在对实现装置间光互连起重要作用的光并行连接组件上．该器件的成功之处在于(1)开发带有新型微透镜的背面入射型平面pin光电二极管阵列，并引入到光敏器件里；(2)开发了将此pin光电二极管     

微电子枪

日本工业技术院和电子技术综合研究所,成功地研制出对于微型机械可进行立体加工的微电子枪。 利用量子力学的隧道效应开发微发射器结构的制作方法,该结构能产生高能光束,以发出加工所需的能量。 电子枪在前尖端的硅基体发射器周围,有两层绝缘膜,还有控制发射器发射电子的     

小型、高精细超声波断层装置

超声波断层装置,作为诊断生物体内组织形态是不可缺少的图像信息仪器,被广泛用在医院和医疗设施上。这次利用以专用LSI为主的高集成化技术,研制出更易使用、体积小,重量轻的EUB—405小型电子扫描超声波断层装置。 此装置,宽为305mm,长为420mm,高     

下一代刻蚀用的抗蚀剂材料

现在刻蚀主要利用g线(436nm)和i线(365nm)来光刻。为了适应未来微细化的要求，正在研究超分辨刻蚀、短波长曝光的深紫外刻蚀以及电子束刻蚀(见图1)。本文就刻蚀所需要的抗蚀剂，特别是化学放大抗蚀剂的最新动向和今后的课题作以叙述。