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11.
影响真空溅射用射频电源特性因素的研究
孙小桃
郭金光
汪洪波
黄稳
陈长琦
《真空》
2014,(1)
研究了用于真空溅射沉积射频电源的功率转换效率和频率稳定性的影响因素,分析了E类功率放大器和射频驱动级电路的工作特性。推演了最大输出功率公式,运用matlab对其归一化处理,得出最优占空比;在最优占空比条件下,根据射频电源功率放大器对射频驱动级电路的要求,设计了射频驱动级电路,提高了射频电源功率输出频率的稳定度。经电路实验测试,其结果显示,波形规整、稳定。
相似文献
12.
射频溅射工艺参数对AZO薄膜结构和性能的影响
黄稳
余洲
刘连
张勇
黄涛
闫勇
赵勇
《功能材料》
2012,(12):1553-1555,1560
采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,研究了衬底温度及溅射工作压强对沉积薄膜的晶体结构、表面形貌及电学性能的影响。结果显示,随衬底温度增加,薄膜的结晶结构发生显著变化,而溅射工作气压增加主要影响沉积薄膜(103)面与(002)面的相对强度。薄膜的表面形貌受温度影响严重,而气压对形貌的影响相对较小。衬底温度增加,薄膜的电阻率急剧降低,迁移率和载流子浓度都显著增加,而工作气压增加则导致电阻率先减小后增大。
相似文献
13.
柔性轨道自动化制孔系统的仿真研究
林美安
陈文亮
王珉
黄稳
余路
《机械制造》
2010,48(4):14-17
柔性轨道系统可以满足现代民用飞机高效、高质量及低成本的自动钻孔要求。重点探讨面向自动化装配仿真的柔性轨道建模及运动学关系定义技术,给出面向自动化装配仿真的设备建模应遵循的规则以及建立自动化装配设备运动学关系链应遵循的规则,并在某民用飞机中后机身虚拟装配仿真环境里实现了柔性轨道系统自动制孔仿真。
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