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991.
SiO2平面光波导工艺中的反应离子刻蚀研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用反应离子刻蚀工艺实现硅基SiO2平面光波导的刻蚀,研究了不同刻蚀条件对刻蚀速率、刻蚀选择比、刻蚀侧壁光洁度等刻蚀结果的影响,并首次研究了分别以无定形硅与多晶硅作为SiO2波导刻蚀掩膜对刻蚀垂直度的影响.利用改进的SiO2反应离子刻蚀工艺,得到了传输损耗极低的SiO2光波导. 相似文献
992.
电子冷冻加工的特点与应用研究 总被引:2,自引:0,他引:2
针对采用热电制冷的冷冻加工方式的特点与应用进行了研究,对于特殊工件的加工提出了一种全新的加工方式,它改革了传统的工件夹持方法,为超小、超薄、异形、低强度脆性材料的工件的加工提供了一种可能,同时电子冷冻加工使低温加工成为现实,可解决一般常用材料及某些特殊材料的加工问题,特别适宜于薄片件,韧、粘性材料的加工,结构简单,温度可调,成本低,无粉尘和气味,可应用于各行各业的机械加工中. 相似文献
993.
994.
995.
996.
997.
燃烧法合成新型蓝色硅酸盐长余辉材料及其发光性能的研究 总被引:17,自引:0,他引:17
采用燃烧法快速合成了Sr2MgSi2O7:Eu^2 ,Dy^3 新型蓝色长余辉材料,用x射线粉末衍射表征材料的相组成和晶体结构,用激发和发光光谱、余辉亮度对材料的发光性质进行表征并对该体系发光机制进行了讨论。结果表明,燃烧法和高温固相法合成的这种长余辉材料具有相同组成和结构,燃烧法可以快速制备出细粉体。合成材料的激发带峰值位于356nm,发射光谱峰值在475nm,是典型的Eu^2 的4f-5d跃迁所产生,余辉时间5h以上。 相似文献
998.
999.
Properties of MoS2 coatings can be improved by the codeposition of a small amount of titanium (Ti). In this study, MoS2-based composite coatings, which consisted of Ti or titanium nitride (TiN) and molybdenum disulfide, are synthesized by unbalanced plasma plating. Two forms of MoS2-based composite coatings have been developed: TiN-MoS2/Ti and TiN-MoS2/TiN coatings. The effect of Ti or TiN and processing parameters on properties of such coatings are investigated. Scanning electron microscopy (SEM), dry drilling and turning tests are used to determine the structure, composition and tribological performance of MoS2-based coatings. Experimental results indicate that these MoS2-based composite coatings are considerably more wear-resistant and are less sensitive to atmospheric water vapor than pure MoS2 coatings. These coatings show excellent results when tested for a wide range of industrial turning and drilling applications. 相似文献
1000.