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采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室(MGC)结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术,其典型结构为阳极微条宽20μm,微条间隔180μm,器件探测区面积为38 mm×34 mm。采用热丝CVD法制备的金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层,厚7~8μm,具有(100)晶面结构。金刚石的刻蚀采用反应离子刻蚀,Cr作掩膜,O2和SF6为刻蚀气体,刻蚀速率为79 nm/min,与Cr的刻蚀比约为20:1。实验结果表明,采用的微加工结合自套准工艺可很好地解决金刚石薄膜的制备、图形化及金属阳极电极与金刚石薄膜的相互套准等金刚石薄膜的可加工性及兼容性问题,并制备出采用金刚石薄膜作为电极间绝缘介质层的新型MGC结构。 相似文献
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采用高温固相法,合成了Ba3Y1-x(PO4)3:xDy3+荧光粉。X射线衍射(XRD)图谱表明,合成物质为纯相Ba3Y(PO4)3晶体。激发谱和发射谱表明,样品的主发射峰位于486nm(4F9/2→6H15/2)和575nm(4F9/2→6H13/2),为典型的Dy3+特征发射,对应于样品的蓝光和黄光发射,其中以348nm激发时得到的峰值最强。样品的主激发峰有8个,均为Dy3+吸收,分别位于292nm(6H15/2→4D7/2),322nm(6H15/2→6P3/2),348nm(6H15/2→6P7/2),362nm(6H15/2→6P5/2),385nm(6H15/2→4M21/2),424nm(6H15/2→4G11/2),452nm(6H15/2→4I15/2)和473nm(6H15/2→4F9/2)处。研究了Dy3+掺杂浓度对发光性能的影响,在掺杂浓度x=0.08时,出现了浓度猝灭,浓度猝灭机理为电偶极-电偶极相互作用;不同Dy3+掺杂浓度荧光粉发射光的色坐标均在白光区域中。同时,研究了敏化剂Ce3+对Ba3Y(PO4)3:Dy3+材料发光强度的影响。 相似文献
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一种迭代的小光斑LiDAR波形分解方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对传统LiDAR波形数据分解方法受噪声影响严重、对复杂重叠及微弱回波分解能力不足的缺点,提出了一种新波形分解方法.通过计算滤波前后波形的幅值变化,估计波形的随机与背景噪声; 采用逐层剥离的策略,从原始波形数据中不断分解出波形分量,直到剩余波形中最大峰值小于一定的阈值; 利用L-BFGS算法优化初始参数,获得波形分量参数的最优解; 最后对位置过近的波形分量进行合并.该方法计算速度快,探测微弱回波能力强,显著提高分解后点云的密度与精度.对大量LiDAR波形数据进行了分解,验证了其有效性. 相似文献
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Eclipse是一个基于Java的可扩展开发平台,它本身是由一个框架和一组服务组成,用于通过插件组件的形式构建开发环境。富客户端平台RCP是位于Eclipse平台核心的功能,它可以视为基于OSGi构建插件系统的最佳实践指导,同时可重用Eclipse中已存在的方法和编码模式。图形化的模型框架GMF是一个Eclipse建模项目的子项目,其目标是为Eclipse建模框架EMF和图形化编辑框架GEF提供一个统一的桥梁,从而为代码工具的生成奠定了良好的基础。而EMF是Eclipse MDA的一个重要组成部分,通过它可以将模型转换成高效正确和易于定制的Java代码。在此结合Eclipse平台、RCP工程及GMF、EMF等相关技术,研究分析了智能代码生成框架的设计过程。 相似文献
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主要介绍电子设计自动化EDA技术的仿真软件Multisim的主要功能特点,并通过该软件对基于555定时器设计的多谐振荡器的波形仿真这一实例来进一步说明它在数字电路设计中的应用.在与传统实验进行对比的同时得出其也具有局限性的结论. 相似文献
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网络结构概念从2010年逐步发展,从狭义网络结构发展到目前广义的网络结构,包括了覆盖、容量和频率3个维度,这3个维度互相作用决定网络质量,特别是目前网络高承载的情况下,网络结构问题更加凸显。基于多数据源的关联分析是网络结构发展的方向、相同业务密度区域是网络结构评估的基础、质量是网络结构优化的主线,网络结构优化进一步提升高承载下的网络质量。 相似文献
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无线ATM技术由于吞吐量大、支持综合业务等一系列优点,在军事通信领域得到了广泛的应用,目前的发展方向是把ATM应用于军用移动通信,在战场上实现运动中的语音、数据、多媒体等业务的实时传输.本论文利用现有成熟的无线ATM接入技术和蜂窝移动网技术,结合现代高技术信息作战对军事通信的要求,研究宽带无线接入在军事通信网中的应用. 相似文献
90.
光刻版清洗机是典型的多轴运行类自动化清洗设备,清洗效率的提升是此设备的关键技术之一。介绍了一种基于时序分析的提升该设备运行效率的方法,实验证明此方法通过对控制时序的分析和优化,有效提升了设备的运行效率。 相似文献