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11.
硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析   总被引:5,自引:2,他引:3  
李宏生 《压电与声光》2002,24(5):421-424
基于参数化的计算机辅助设计(CAD)软件,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模,以有限元分析软件为工具,进行了谐振器的模态分析,静态分析和谐响应分析,初步揭示了谐振器的静、动态特性,有助于改善设计效率和质量,展示了计算机辅助工程(CAE)技术在微机电系统(MEMS)研究中的重要作用。  相似文献   
12.
张荣  曲宏伟 《微电子学》1998,28(6):437-439
制作压力传感器时,在二氧化硅层上淀积多晶硅膜,既可利用优良的机械特性,又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性,由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明,这类传感器具有灵敏度好,精度高等特点,电路工作范围为0-250℃,且具有良好的温度稳定性。  相似文献   
13.
参数化图形库技术   总被引:11,自引:0,他引:11  
本文论述了参数化图形库的实现原理,建立了以尺寸叠加算法为基础的参数化图形库开发工具,利用这种开发工具建立的图形数据可以由数据库管理,方便有效。  相似文献   
14.
提出了一种用于检测在役车辆车轴产生疲劳裂纹的超声波方法,设计了中心孔探头与斜角探头一起,完成了对车辆车轴的关键区域探伤。  相似文献   
15.
预处理工艺对硬质合金与金刚石膜间粘结力的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2kW,压强4.0kPa和6.5kPa,CH4和H2流量分别为1.6cm/s和100.0cm/s的条件下生长金刚石薄膜。利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力。实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少。  相似文献   
16.
By using mathematical formulae developed in previous studies, certain pollution parameters of dye effluent obtained from reactive dyeing with a single dye can be predicted with good accuracy. In this study, the degree of pollution of reactive dyeing effluent using dye mixtures was also predicted by other approaches, such as linear and non-linear regression. The prediction accuracy was found to be satisfactory.  相似文献   
17.
主要介绍了Honeywell公司TPS系统在直纺涤纶长丝用骤冷风空调装置中的应用。重点说明了该系统的硬件配置和一些复杂控制回路的实施和组态。  相似文献   
18.
针对中国压铸行业的现状和存在的问题 ,以及当前的机遇和面临的挑战 ,论述了中国压铸工业进入 2 1世纪所面临的新形势及应采取的对策  相似文献   
19.
大颗粒尿素造粒工艺简介   总被引:4,自引:0,他引:4  
介绍了大颗粒尿素造粒工艺,着重介绍了荷兰NSM公司的流化床造粒技术和法国K-T公司的流化床转鼓造粒(FDG)技术。  相似文献   
20.
MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用   总被引:3,自引:0,他引:3  
从传统移相器的构造和原理出发,进一步分析了MEMS移相器的结构、特性。结果表明,MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展,MEMS移相器介质损耗大幅度降低,将能与信号处理电路一同集成于硅衬底上,便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化。  相似文献   
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