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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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乙烯齐聚催化剂研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
乙烯齐聚是合成直链低碳α-烯烃最先进的方法,直链低碳α-烯烃可用于生产低密度聚乙烯和高密度聚乙烯等多种精细化学品。本文综述了乙烯齐聚催化体系的研究进展,重点介绍了镍、锆、钛催化剂的组成以及反应时间、反应温度、溶剂、助催化剂等因素对乙烯齐聚活性和选择性的影响,并讨论了典型镍的催化机理。 相似文献
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应用遗传算法设计和开发了针对爱立信GSM900系统的频率规划软件。在设计中,采用了交叉点存储、变异回退以及分割分步降维的方法,从而提高遗传算法的执行速度。 相似文献
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GSM90 0 /1 80 0固定无线公用电话桌面型话机在开发过程中遇到严重的噪音问题 ,一度成为开发工作的瓶颈。本文就这一噪音问题进行了分析与测试 ,并针对干扰源采取相应的措施 ,在产品开发中付诸应用 ,最终解决了 GSM桌面型无线公话的噪音问题 相似文献
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文章介绍了在windows2000环境下通过编写WDM(Windows Driver Model)设备驱动程序实现实时数据采集和控制的一种方法。采用研华数据采集卡PCL818L产生中断信号.通过编写WDM驱动程序实现了在windows2000环境下转台的位置控制。并在实验中调试通过。实验结果表明:在采样频率为1KHz的情况下。控制系统很好实现了输出对输入的跟踪,证明了采用方法的正确性。该方法解决了windows2000环境下的实时性问题,为在windows环境下实时控制系统的实现提供了有益的尝试。 相似文献