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121.
Si衬底上Ta-N/Cu薄膜性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对Si衬底上Ta-N/Cu薄膜进行了电学和热学分析,结果发现500℃以下薄膜电随几乎不变,600-690℃下的退火引起的电阻率降低是由于Ta-N电阻的热氧化和Cu熔化扩散引起的,而690℃以上的电阻率增加是由于Cu引线传输能力减弱所致,为0.18μm以下的超大规模集成电路中的Cu引线和电阻薄膜的制作提供了有益的借鉴。 相似文献
122.
123.
基于数字信号处理器的直流电机控制系统 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了定点数字信号处理器(DSP)TMS320F240的一般性能及其在永磁无刷直流电机控制上的应用,给出了硬件设计方案、软件策略及输出结果。 相似文献
124.
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127.
抽水蓄能电站运行方式和电网经济效益分析 总被引:1,自引:1,他引:0
用计算机模拟法建立模拟模型,对选定的系统进行生产模拟,统计计算出电网系统投入不同抽水蓄能容量时所发生的系统运行总燃料费用(包括抽水蓄能电站的抽水费)和系统的负荷缺电力时间概率(LOLP)等指标。通过对计算结果的分析,得出不同系统在投入不同容量抽水蓄能机组和采取不同运行方式的情况下,其运行总燃料费用的边际成本和LOLP的边际值的变化规律,并且对电网的经济效益进行合理分析。从而为抽水蓄能电站的规划和投资建设提供理论依据,推动抽水蓄能电站的发展,促使我国电源结构趋向合理。 相似文献
128.
129.
130.