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设计并制备了一种基于热光效应的集成可调谐氮化 硅(Si3N4)波导微环谐振腔滤波器,通过采用马赫-曾德干涉仪(MZI)构成的可调谐 耦合器控制耦合区耦合比,以实现滤波器消光比的调谐。设计并优化了微环谐振 腔的波导截面尺寸、弯曲半径和耦合区波导间隔等参数,并通过光刻、反应离子刻蚀(RIE )等工艺制备 了两种不同弯曲半径的Si3N4波导微环谐振腔。实验结果表明,本文器件在波长1550nm附近处的自由光谱 范围(FSR)为68pm,3dB带宽约为16pm,品质因子Q达到了9.68×10 4,消光比可调范围约为17dB。 相似文献
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近年来,外墙皮脱落引起的纠纷频发,给人们的生活安全造成很大威胁。本文就施工、设计、管理等方面展开初步探讨,并希望有关部门采取有效的政策、规范、规定、规章制定和管理等措施,明确和规范各方的责任、权利和义务。 相似文献
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