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目的 优化涂层制备工艺,改善AlCrSiN涂层的力学及摩擦性能。方法 采用可调节磁场强度的新型电弧离子镀技术,在不同沉积温度下研制AlCrSiN涂层。利用XRD及SEM分析AlCrSiN涂层的相结构、截面形貌,借助纳米压痕仪、划痕测试仪、高温摩擦磨损试验机以及台阶仪测试AlCrSiN涂层硬度、膜/基结合强度以及摩擦磨损性能。系统分析沉积温度对AlCrSiN涂层的成分分布、微观结构演变、力学性能的影响,并研究沉积温度对AlCrSiN涂层摩擦磨损性能的影响规律及磨损机制。结果 随着沉积温度逐渐升高,涂层吸附原子的活性增强,涂层沉积速率出现先上升、再下降的趋势。随着沉积温度升高,涂层中的Cr2N相逐渐替代CrN相,且hcp-AlN相沿(11■0)晶面择优生长。各沉积温度下,AlCrSiN涂层均与单晶硅片基体表面结合良好,且具有良好的致密性。沉积温度的升高,增强了原子的扩散能力,致使晶粒尺寸增大。随着沉积温度升高,涂层的硬度及弹性模量均呈上升趋势,而H/E、H3/E*2均先升高、后降低,涂层膜/基结合强度逐渐增大。当沉积温度为3... 相似文献
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Marangonj公司正在意大利的Trentjno组建一个新的技术中心,该中心毗邻公司总部。据悉,该工程将花费1600万欧元。 相似文献
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文章从施工准备、劳动力、工期安排、施工方法以及应注意的问题等方面,阐述了大型炭化室焦炉砌筑施工技术。可对今后大型焦炉砌筑起到一定的借鉴作用。 相似文献
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一、1992年工作简要回顾 ——电力生产稳步增长,全区完成发电量221.51亿千瓦时,比上年增长17.44%,其中自治区直属完成103.67亿千瓦时,比上年增长15.54%,超额完成年计划6.88%。售电量全区完成124.79亿千瓦时,比上年增长碱13.67%,其中自治区直属完成92.92%亿千瓦时,比上年增长15.44%,超额完成年计划8.63%。自治区西部电网向华北送电17.13亿千瓦时,比上年增长43.66%。东部元宝山、通辽电厂等向东北送电75.14亿千瓦时,比上年增长21.63%。 相似文献
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海天塑料机械有限公司生产的HTH200X2高速、高精度注射成型机采用先进的伺服闭环控制系统,通过特殊的液压及电路设计,实现了高稳定性、高速、高效、高精密、高响应性等卓越性能。这种机型循环周期快、生产效率高、节省能源,具有极高的性价比,尤其适合于壁薄、生产能力高、高精度的塑料制品。 相似文献
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