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981.
在中国国家自然科学基金重大项目《先进电子制造中的重要科学技术问题研究》资助下,针对大尺寸硅片化学机械抛光(CMP)和超精密磨削平整化所涉及的“超精抛光中纳米粒子行为和化学作用及平整化原理与技术”,以300mm硅片为代表,归纳报告硅片超精密磨削加工机理、磨削平整化理论、超精密磨削表面/亚表面损伤、磨削加工工艺规律,以及大尺寸硅片超精密磨削平整化加工关键技术的研究进展。 从硅片旋转磨削过程的运动学仿真、硅片磨削过程的分子动力学仿真和硅片材料的脆性 延性转变等3方面研究了硅片的超精密磨削机理。 通过建立硅片旋转磨削过程的运动学理论模型,获得硅片旋转磨削的运动轨迹参数方程、磨纹长度、磨纹数量以及磨削稳定周期等模型,分析了磨纹间距、磨纹密度与磨削表面层质量的关系。在此基础上开发硅片旋转磨削纹理的计算机预测仿真软件对硅片超精密磨削过程进行数字模拟,通过硅片磨削实验对数字仿真结果进行实验验证。 相似文献
982.
983.
984.
985.
苏钢开发了一种新的易切削齿轮钢22CrMoHS (/%:0.19~0.25 C,0.80~1.00 Mn,≤0.025 P,0.040~0.060 S,1.00~1.40 Cr,0.35~0.45 Mo),S控制在0.040%~0.060%;通过控制电弧炉终点[C]在0.05%~0.12%;LF精炼初期渣的碱度(R)和Al2O3含量分别为4~5和25%~35%,在精炼后期渣碱度(R)和Al2O3含量分别为3~4和25%~35%;VD后钙处理,使钢中[Ca]在0.0015%~0.0025%;连铸二冷比水量0.81 L/kg,控制拉速0.75~0.80 m/min等工艺,钢中硫化物形态主要为球形,球化率达95%以上,材料的切削性能得到明显改善。 相似文献
986.
987.
0INTRODUCTIONAsM.Kuniedaetal.rePOrted,forastablesuccessionofnormalsparksintheEDMprocesses,itisimportantforsparklocationstObenotlocalizedbutdistributedunifondyoverthedischargegap',,,'.Thereareseveraldetectionmethodsofsparklocationshavingbeenstudiedandtestedintheworldby...L3).However,thisresearchstalledlateanditSdevelopmentisnotPeifect,soeverydetectionmethodhasitsdeficiency.MototaniMetal.studiedtheelectrodepotentialdifferencemethodusedinon--linedetectingthesparkl..ti...L.].Thelinearrel… 相似文献
988.
论述了由单片机与集成电路组成的新型同期并网装置的原理和构成。本装置具有判断准确,调试简便,可靠性高等特点。 相似文献
989.
激光跟踪仪是工业机器人标定技术中常用测量设备,但其测量范围受限于被动式靶标的激光光线接收角度,进而影响了机器人的标定精度。为解决该问题,设计了一种具有三自由度的主动式靶标装置,并提出了一种精度优化方法,有效地补偿因装置的装配而引入的测量误差。该方法利用圆点分析法初步辨识主动式靶标装置的DH参数,基于距离平方误差模型法对该装置进行DH参数的精辨识,并基于坐标系转换将主动式靶标装置的位置误差补偿到激光跟踪仪输出的位置向量,从而实现误差的补偿。通过实验验证了该主动式靶标装置能够有效地扩大工业机器人关节的被测范围。所提出的精度优化方法能够将该装置的测量误差降低9331%,实际定位精度为00507 mm,能够满足机器人标定的精度要求。 相似文献
990.