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提出一种由直线音圈电机直接驱动,采用新型弹性解耦机构的二自由度高速精密定位平台.为研究平台在高速高加速运动情况下动态特性,利用ANSYS软件建立了该平台的有限元模型.以此模型为基础,探讨了在预紧弹簧预紧力、电机驱动力以及焊头焊接力的作用下,引起的该定位平台的应力及其工作表面的变形情况,为平台的结构动态设计提供了依据. 相似文献
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工作气压对室温溅射柔性AZO薄膜性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
采用射频磁控溅射法在PEN衬底上室温制备了AZO薄膜,并对不同工作气压下(0.05~0.4Pa)沉积薄膜的结构及光电性能进行了研究。结果表明,薄膜具有良好的c轴择优取向,随工作气压增大,薄膜(002)峰强度减弱,晶粒减小,表面粗糙度增大,电学性能下降,薄膜可见光透过率变化不大,但禁带宽度变窄。与玻璃衬底相比,PEN衬底上沉积的AZO薄膜拥有更高的品质因数,获得的最佳电阻率、载流子浓度和霍尔迁移率分别为1.11×10-3Ω.cm、4.14×1020cm-3和13.60cm2/(V.s),该薄膜可见光的绝对透射率达到95.7%。 相似文献
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