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反应溅射存在不稳定性,需要对反应溅射过程进行非线性控制。分析了迟滞效应的不稳定特性,提出了基于PEM的非线性动态平衡控制法。以镀CrN膜为研究对象,靶原子光谱相对强度为反馈参数,用ATmega16设计了反应气体的PEM控制系统,分析了压电阀的控制特性。以PI和模糊PI为非线性控制方法,按照镀膜工艺要求在四靶磁控溅射镀膜机上进行控制试验。结果表明,压电阀非线性特性严重,需作为系统反馈参数;模糊PI方法较PI方法优,能实现反应溅射过程的动态实时稳定,控制误差为±2.5%。基片的镀膜厚度和耐磨性满足使用要求,验证了模糊PI法在反应溅射控制工程应用的正确性,为发展高性能的硬质薄膜材料奠定了基础。 相似文献
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奥林匹克遗产是全人类的宝贵财富,利用科技与文化艺术相融合,对实现北京冬奥会及奥林匹克遗产和精神文化的多元呈现和高效传播至关重要.线上云展厅作为信息时代数字博物馆发展的重要趋势,虽然在单项数字博物馆与交互系统技术研究方面已具备较好的基础,但尚未形成体系化、智能化、交互友好的冬奥会奥林匹克数字博物馆系统.面向北京2022年冬季奥林匹克运动会,提出一种具有交互反馈的云展厅系统构建方式,通过构建具有虚拟讲解员的智能交互云展厅,进一步探索交互反馈在知识传播型的数字博物馆中对于非物质文化遗产的传播作用.为了探索视听交互反馈对云展厅的奥林匹克精神文化传播的影响,同时提升知识传播型云展厅中的用户体验,对32名参与者进行用户实验.研究结果表明,所构建的云展厅能够极大地促进奥林匹克文化与精神的传播;同时,在云展厅中引入视听交互反馈能够提高用户的感知控制,从而有效地提升用户体验. 相似文献
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采用化学镀镍的方法制备Ni/B微纳米复合粒子。运用TEM、EDS和XRD方法对复合粒子的形貌、组成和物相进行表征,并通过TG-DTA热分析仪和热常数分析仪研究Ni/B微纳米复合粒子的热稳定性和导热系数。结果表明,真空干燥得到的复合粒子为核壳结构,纳米镍的尺寸约为21.7 nm,纳米镍粒子紧密均匀地包裹在硼粉表面,并且镍和硼的质量比为1:1;与原料硼粉相比,复合粒子与空气的反应放热峰提前36 ℃左右,表明纳米镍粒子具有明显的催化效果;同时,复合粒子的导热系数也有所增大 相似文献
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为实现加速器电源的全数字化控制,提高数字电源控制系统的实时性,介绍了基于Altera公司NiosⅡ软核构建的嵌入式系统对于中断的响应过程,以及不同处理器配置下的中断开销,实验总结出了提高其中断性能的配置方式并对不同配置下的中断性能进行了实际测试、给出了部分测试程序和测试结果.测试结果表明将矢量中断控制器应用到数字电源的... 相似文献
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