微细加工用光刻胶及其问题

制造 I,LSI 等的半导体器件的微细加工技术是通过照相蚀刻法实现的,即采用紫外曝光和以光刻胶为掩蔽进行蚀刻的。为了制作集成度极高的超 LSI,所以必须提高微细加工的精密度。作为超微细加工的可能方法曾研究了电子束,X 射线和短波长紫外线的光刻法。     

关于主轴回转精度的研究(第四部分)——镗削加工中径向回转精度的测定

作者所研制的新测量方法适用于镗孔时测量回转型刀具的径向误差运动。测量和切削试验在铣床上进行。把回转型刀具的误差运动与主轴端部的误差运动、镗孔的圆度图象及刀具的动态特性作了比较,得到下列结论:(1)镗孔时,回转型刀具的径向误差运动可用检查标准球和在镗杆上的小金属片之间的间隙而准确地测量出来。(2)在与精加工铝件相同的切削条件下,切削过程对回转型刀具的径向误差运动影响很小。但另一方面回转型刀具的动态特性则有很大的影响。     

高梯度磁分离器处理工业废水

<正> 1.前言过去,磁分离技术(Magnetic Separation Technology)应用于矿山等部门,筛选含铁质的粒径较大的强磁性体。到1971年的时候,微电子集成试验所的科姆等组成的磁力研究小组,在进行海洋底部磁单极子的探索中发现了在非常高的磁场梯度下,可获得简便的并能产生高的空间效率的方法,即高梯度磁分离法(High     

电影中“创造性空间”与“空间连贯性”概念之比较——以里维特的《北桥》和侯麦的《飞行员的妻子》为例

本文通过对里维特的《北桥》和侯麦的《飞行员的妻子》进行比较.讨论了电影中的“创造性空间”和“空间连续性”的概念,以及它们在描述巴黎的“可读性”时的不同效果。侯麦使用了城市中的日常标志物以在影片中重建真实城市的空间地理,并引导观众们的方向认知。而里维特则选择了一些对于游客来说更加有名的标志性建筑.作为“巴黎之海”的观察点。侯麦的城市策略是对日常性的精确刻画,而里维特的角色们则在超现实的心理地图中进行“都市漫游”,并凸现出“消失中的巴黎”。但是由于里维特遵守由叙事所限定的时间连贯性,影片叙事空间中的“高度统一场”得到了尊重,在观众的知觉中影片的情节依然是连续可读的。     

长沙市住宅建筑室内外VOC浓度的实测与分析

根据10户住宅建筑的VOC浓度现场测试及问卷调查结果，分析了长沙市住宅室内外VOC浓度及个人暴露量的状况。分析了环境温湿度、住宅装修时间、空调气流组织方式等对住宅VOC散发及分布的影响。     

浅析现代装备信息化保障系统

以信息技术为核心的高新技术的飞速发展及在军事上的广泛应用,在世界范罔内兴起一.场深刻的军事变革,极大地推动着军事装备向信息化、智能化、精确化、一体化发展,本文着重探讨了装备保障的发展需求,介绍了目前装备保障的发展现状,分析了商新技术战争条件下对保障体系提出的更高要求,以及我们应该达到保障水平,系统的论述了保障体系建设方案,涉及网络信息化平台的售后服务,远程指导、及如何开展多方培训等.     

产品销售后的技术服务工作

本文介绍了衡阳有色冶金机械厂怎样把产品的技术性能和技术要求,让用户掌握好,使用好,做好售后技术服务工作的几点作法。     

新型一维材料:纳米蛇型碳管

由非晶态碳制备了一类新型纳米碳绳,因其卷绕形状、多层叠片和清晰可见的管壁,称之为纳米蛇型碳管（NCSTs）。形貌观察表明其由直径约73nm的碳穹顶相叠而成,穹顶间距为0．34nm,蛇管长度可达0．2mm。其制备是将脱灰煤和纳米硅的混合物通过温度为3000～4500K的Ar／H2等离子体炬,在反应产物中可以观察到大量的NCSTs。文中对该新型结构的形成机理和纳米硅微粒的催化作用进行了讨论,分析了NCSTs的化学组成和电子结构,并对其力学、电学、化学等性能和应用前景进行了预测。